SUSS MicroTec , un fournisseur leader de solutions d'équipement pour l'intégration 3D, les MEMS, Advanced Packaging et les marchés des nanotechnologies, lance avec l'optique de l'exposition MO une nouveau système d'éclairage conçu pour toutes les générations de manuels et automatiques gouttières masque SUSS. Le nouveau système optique est basée sur réseaux de microlentilles uniques de haute qualité optique de fournir une plus grande intensité, une meilleure uniformité de la lumière et l'éclairage d'exposition personnalisé façonnage. Cela permet aux utilisateurs de gouttières SUSS MicroTec masque afin d'optimiser la fenêtre de processus et d'améliorer le rendement en contact et de la lithographie de proximité. Optique exposition MO (brevet en instance) a été exclusivement développé par MicroOptics SUSS, un fournisseur mondial leader des solutions de haute qualité optique de l'éclairage, faisceau laser façonnage, la métrologie, les systèmes médicaux et la vision.
Optique exposition MO est fourni avec une bibliothèque de réglages de l'éclairage, y compris tous les paramètres établis SUSS MicroTec masque aligneur (A-Optics, D-Optics, LGO et RH) et d'autres paramètres tels que l'éclairage anneau, dipôle, quadrupôle, multipolaire et de croix de malte. Par un simple changement de l'éclairage des plaques de filtration (IFP), l'utilisateur peut choisir les réglages de l'éclairage optimisé pour atteindre une latitude plus élevée processus. Automated IFP échangeur sera offert pour les gouttières masque de production. Un libre choix de réglages de l'éclairage optimisé, éclairage annulaire par exemple pour vias et croix de Malte pour les lignes verticales et horizontales va augmenter la profondeur de champ et la latitude d'exposition, tout en réduisant les facteurs d'erreur masque. Le système permet également aux utilisateurs de concevoir entièrement fait à la commande d'éclairage qui optimise leurs fenêtres couche de procédure spécifique.
"Optique exposition MO est une étape majeure dans l'amélioration du rendement offrant une résolution élevée à proximité même de grandes lacunes pour tous nos gouttières masque", a expliqué le Dr Ralf Süss, directeur général de la Division de la lithographie de SUSS MicroTec.
L'exposition MO illumination du système optique est disponible pour l'expédition immédiate de tous les gouttières masque de manuels et automatisés. Existants gouttières SUSS MicroTec masque peut être installé sur le terrain.
«En offrant la possibilité de mettre à niveau la base installée avec le système d'exposition MO nouvel éclairage optique, nous aidons nos clients à protéger leur investissement dans la technologie éprouvée masque aligneur", a ajouté Frank P. Averdung, Président et CEO de SUSS MicroTec AG. "Il leur permettra d'enregistrer immédiatement les coûts dans ce contexte difficile économiques."