SUSS MicroTec, un fornitore principale delle soluzioni della strumentazione per 3D Integrazione, MEMS, Ha Avanzato l'Imballaggio e servizi di Nanotecnologia, lanci con l'Ottica che di Esposizione di MO un nuovo sistema di illuminazione ha progettato per tutte le generazioni di aligners manuali ed automatici della maschera di SUSS. Il nuovo sistema ottico è basato sulle schiere uniche dei microlens di alta qualità ottica per fornire il più alta intensità, l'uniformità migliore dell'indicatore luminoso dell'esposizione e la modellatura su misura dell'illuminazione. Ciò permette che gli utenti dei aligners della maschera di SUSS MicroTec ottimizzino la finestra trattata e migliorino il rendimento in contatto e litografia di prossimità. L'Ottica dell'Esposizione di MO (brevetto in registrazione) esclusivamente è stata sviluppata dai sistemi medici e della visione di SUSS MicroOptics, di un fornitore principale del mondo per le soluzioni ottiche di alta qualità nell'illuminazione, di modellatura del raggio laser, della metrologia.
L'Ottica dell'Esposizione di MO è provveduta di una libreria delle impostazioni dell'illuminazione, compreso tutte le impostazioni stabilite del aligner della maschera di SUSS MicroTec (Un-Ottica, D-Ottica, LGO ed ORA) più le impostazioni supplementari come l'illuminazione dell'anello, il dipolo, il quadruplo, multipolare e croce di Malta. Da un cambiamento semplice delle Zolle del Filtrante dell'Illuminazione (IFP) l'utente può scegliere le impostazioni ottimizzate dell'illuminazione per raggiungere un'più alta latitudine trattata. Lo scambiatore Automatizzato di IFP sarà offerto per i aligners della maschera di produzione. Una scelta libera delle impostazioni ottimizzate dell'illuminazione, per esempio l'illuminazione dell'anello per i vias e la croce di Malta per verticale e linee orizzontali aumenterà la latitudine di esposizione e di profondità di campo mentre diminuisce i fattori di errore della maschera. Il sistema egualmente permette che gli utenti progettino l'illuminazione completamente su ordinazione che ottimizza le loro finestre trattate livello-specifiche.
“L'Ottica dell'Esposizione di MO è un passo avanti importante nei miglioramenti del rendimento che forniscono l'alta risoluzione anche alle lacune grandi di prossimità per tutti i nostri aligners della maschera„, il Dott. spiegato Ralf Süss, direttore generale di Divisione della Litografia di SUSS MicroTec.
Il sistema di illuminazione dell'Ottica dell'Esposizione di MO è disponibile per la spedizione immediata per tutti i manuale ed aligners automatizzati della maschera. I aligners Esistenti della maschera di SUSS MicroTec possono essere adattati nel campo.
“Offrendo la possibilità per migliorare la base installata con il nuovo sistema di illuminazione dell'Ottica dell'Esposizione di MO aiutiamo i nostri clienti a proteggere il loro investimento nella tecnologia ben-provata„ P. Averdung, Presidente e direttore generale Franco aggiunto del aligner della maschera MicroTec AG di SUSS. “Li permetterà immediatamente di comprimere il costo in questo ambiente economico provocatorio.„