ズースは、マスクアライナのすべての世代のために設計された新しい照明システムを発売

Published on June 4, 2009 at 6:14 AM

ズースマイクロテック 、3Dの統合、MEMS、アドバンストパッケージングおよびナノテクノロジー市場向けの機器ソリューションのリーディングサプライヤは、MOの露光光学手動と自動SUSSのマスクアライナのすべての世代のために設計された新しい照明システムを起動します。新しい光学系は、より高い強度、改良された露光光の均一性とカスタマイズされた照明シェーピングを提供するために、高い光学的品質のユニークなマイクロレンズアレイに基づいています。これは、ズースのマスクアライナのユーザーがプロセスウィンドウを最適化し、接触や近接リソグラフィの歩留まりを向上させることができます。 MOの露光光学系(特許出願中)は、排他的にズースマイクロ光学、照明の高品質な光ソリューションの世界的リーディングサプライヤー、レーザービーム整形、計測、医療とビジョンシステムによって開発されました。

MOの露光光学系が確立されたすべてのズースマスクアライナの設定(A -光学、D -光学、LGOとHR)に加え、リング照明、双極子、四重極、多極とマルタ十字のような追加の設定を含めて、照明設定のライブラリで提供されています。イルミネーションフィルタープレート(IFP)の単純な変更によって、ユーザーがより高いプロセス裕度を達成するために最適化された照明の設定を選択することができます。自動化されたIFPの交換は、生産のマスクアライナのために提供されます。最適化された照明の設定を自由に選択マスクの誤差要因を削減しながら、垂直および水平の線のビアとマルタ十字のための例:リングの照明は、フォーカスと露出緯度の深さが増加します。システムはまた、ユーザーは自分の層固有のプロセスウィンドウを最適化する完全オーダーメイドの照明を設計することができます。

"MOの露光光学系はすべて私達のマスクアライナのためにさらに大規模な近接ギャップで高解像度を提供する歩留まり向上における大きな前進である"、と博士はラルフカールサス、ズースのリソグラフィ部門のゼネラルマネージャーは説明する。

MOの露光光学系の照明システムは、すべての手動および自動のマスクアライナーのための即時出荷が可能です。既存のズースのマスクアライナは、フィールドに改装することができる。

"我々は非常に実績のあるマスクアライナの技術への投資を保護するために私達の顧客を支援する新しいMO露光光学照明システムと一緒にインストールベースをアップグレードする可能性を提供することで"フランクP. Averdung、ズースマイクロテックAGの会長兼最高経営責任者(CEO)を追加しました。 "それはそれらがすぐにこのような厳しい経済環境の中でコストを節約できるようになります。"

Last Update: 6. October 2011 03:49

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