SUSS MicroTec, een belangrijke leverancier van apparatuur oplossingen voor 3D Integratie, MEMS, de Geavanceerde markten van de Verpakking en van de Nanotechnologie, lanceringen met de MO Optica van de Blootstelling een nieuw verlichtingssysteem dat voor alle generaties van hand en automatische SUSS maskeraligners wordt ontworpen. Het nieuwe optische systeem is gebaseerd op unieke microlensseries van hoge optische kwaliteit om hogere intensiteit, betere blootstellings lichte uniformiteit en het aangepaste verlichting vormen te verstrekken. Dit staat gebruikers van SUSS MicroTec maskeraligners toe om het procesvenster te optimaliseren en opbrengst in contact en nabijheidslithografie te verbeteren. MO de Optica van de Blootstelling (octrooi aangevraagd) is uitsluitend ontwikkeld door SUSS MicroOptics, een wereld belangrijke leverancier voor de optische oplossingen van uitstekende kwaliteit in verlichting, laserstraal vormend, metrologie, medische en visiesystemen.
MO de Optica van de Blootstelling wordt voorzien van een bibliotheek van verlichtingsmontages, met inbegrip van alle gevestigde SUSS MicroTec maskeraligner montages (a-Optica, D-Optica, LGO en U) plus extra montages zoals ringsverlichting, dipool, quadrupole, veelpolig en Maltees kruis. Door een eenvoudige verandering van de Platen van de Filter van de Verlichting (IFP) kan de gebruiker de geoptimaliseerde verlichtingsmontages verkiezen om een hogere procesbreedte te bereiken. Het Geautomatiseerde ruilmiddel IFP zal voor aligners van het productiemasker worden aangeboden. Een vrije keus van geoptimaliseerde verlichtingsmontages, b.v. ringsverlichting voor vias en Maltees kruis voor verticale en horizontale lijnen zal de diepte van nadruk en blootstellingsbreedte terwijl het verminderen van de factoren van de maskerfout verhogen. Het systeem staat ook gebruikers toe om volledig op bestelling gemaakt verlichting te ontwerpen die hun laag-specifieke procesvensters optimaliseert.
„MO de Optica van de Blootstelling is een belangrijke stap voorwaarts in de opbrengstverbeteringen die hoge resolutie verstrekken bij zelfs grote nabijheidshiaten voor al onze maskeraligners“, verklaarde Dr. Ralf Süss, algemene manager van de Afdeling van de Lithografie van SUSS MicroTec.
Het MO de verlichtingssysteem van de Optica van de Blootstelling is beschikbaar voor directe verzending voor alle hand en geautomatiseerde maskeraligners. Bestaande SUSS MicroTec maskeraligners kunnen op het gebied worden retroactief aangepast.
„Door de mogelijkheid te bieden om de geïnstalleerde basis met het nieuwe MO de verlichtingssysteem van de Optica van de Blootstelling te bevorderen helpen wij onze klanten om hun investering in de goed-bewezen maskeraligner technologie“ toegevoegde Frank P. Averdung, Voorzitter en CEO van SUSS MicroTec AG te beschermen. „Het zal hen toestaan om kosten in dit opwindende economische milieu onmiddellijk te besparen.“