SUSS MicroTec, ведущий поставщик разрешений оборудования для 3D Внедрения, MEMS, Выдвинуло Упаковывать и рынки Нанотехнологии, старты с Оптикой Выдержки MO новая система освещения конструировала для всех поколений ручных и автоматических aligners маски SUSS. Новая оптическая система основана на уникально блоках microlens высокого оптически качества для того чтобы обеспечить более высокую интенсивность, улучшенное единообразие света выдержки и подгонянный формировать освещения. Это позволяет пользователям aligners маски SUSS MicroTec оптимизировать отростчатое окно и увеличить выход в контакте и литографировании близости. Оптика Выдержки MO (патент ожидающий решения) исключительно была начата системами SUSS MicroOptics, поставщика мира ведущего для высокомарочных оптических разрешений в освещении, формировать лазерного луча, метрологии, медицинских и зрения.
Оптика Выдержки MO обеспечена с архивом установок освещения, включая все установленные установки aligner маски SUSS MicroTec (-Оптику, D-Оптику, LGO и HR) плюс дополнительные установки как освещение кольца, диполь, квадруполь, мультипольное и мальтийский механизм. простым изменением Фильтровальных Пластинок Освещения (IFP) пользователь может выбрать оптимизированные установки освещения для того чтобы достигнуть более высокой отростчатой широты. Автоматизированный обменник IFP будет предложен для aligners маски продукции. Свободный выбор оптимизированных установок освещения, например освещения кольца для vias и мальтийского механизма для вертикали и горизонтальных прямых увеличит глубину резкости и широту экспозиции пока уменьшающ факторы ошибки маски. Система также позволяет пользователям конструировать полно освещение делать-к-заказа которое оптимизирует их сло-специфические отростчатые окна.
«Оптика Выдержки MO крупный шаг вперед в улучшениях выхода обеспечивая высокое разрешение на даже больших зазорах близости для всех наших aligners маски», объясненный Др. Ralf Süss, генеральный директор Разделения Литографированием SUSS MicroTec.
Система освещения Оптики Выдержки MO доступна для немедленной отгрузки для всех руководства и автоматизированных aligners маски. Существуя aligners маски SUSS MicroTec можно retrofitted в поле.
«Путем предлагать возможность для того чтобы модернизировать установленное основание с новой системой освещения Оптики Выдержки MO мы помогаем нашим клиентам защитить их облечение в хорошо-доказанной технологии» добавленном Откровенном P. Averdung aligner маски, Президенте и генеральном директоре MicroTec AG SUSS. «Он позволит им немедленно сохранить цену в этой трудной экономичной окружающей среде.»