SUSS MicroTec, en ledande leverantör av utrustninglösningar för Integration 3D, MEMS, Avancerat Paketera och Nanotechnology marknadsför, barkasser med MO-ExponeringsOptiken ett nytt belysningsystem som planläggs för alla utvecklingar av manuellt, och automatiska SUSS maskerar tillrättare. Det nya optiska systemet baseras på unika microlenssamlingar av optiskt kvalitets- för kick för att ge högre styrka, förbättrad likformighet för exponering lätt och skräddarsy forma för belysning. Detta låter användare av SUSS MicroTec maskerar tillrättare för att optimera det processaa fönstret och för att förhöja avkastning i kontakt och närhetlithography. MO-ExponeringsOptik (patenterat oavgjort) har exklusivt framkallats av SUSS MicroOptics, en ledande leverantör för värld för högkvalitativa optiska lösningar i belysning, laser strålar forma, metrology-, läkarundersökning- och visionsystem.
MO-ExponeringsOptik ges med ett arkiv av belysninginställningar som är inklusive maskerar alla etablerade SUSS MicroTec, positiva extra inställningar för tillrättarinställningar (En-Optik, D-Optik, LGO och TIMME) som något liknande ringer belysning, dipolen, quadrupole, multipole, och maltese korsa. Vid en enkel ändring av Belysningen Filtrera Pläterar (IFP) användaren kan välja de optimerade belysninginställningarna för att uppnå en högre processaa frihet. Automatiserade den ska IFP-exchangeren erbjuds för produktion maskerar tillrättare. Ett fritt primat av optimerade belysninginställningar, ringer e.g belysning för vias, och maltese korsa för lodlinje, och horisontal fodrar ska förhöjning som djupet av fokuserar, och förminskande exponeringsfrihetstunder maskerar fel dela upp i faktorer. Systemet låter också användare planlägga fullständigt göra-till-beställer belysning som optimerar deras lagrar-närmare detalj processaa fönster.
”Är MO-ExponeringsOptik en ha som huvudämne kliver framåtriktat i avkastningförbättringar som ger kickupplösning på även stora närhetmellanrum för allt vårt, maskerar tillrättare”, förklarad Dr. Ralf Süss, allmän chef av LithographyUppdelning för SUSS MicroTecs.
Systemet för belysning för MO-ExponeringsOptik är tillgängligt för den omgående sändningen för all manuellt, och automatiserat maskera tillrättare. Existerande SUSS MicroTec maskerar tillrättare kan retrofitteds i sätta in.
”, Genom att erbjuda att möjligheten ska förbättra installerad, basera med det nya systemet för belysning för MO-ExponeringsOptik som vi hjälper våra kunder att skydda deras brunn-bevisade investering i maskerar tillrättarteknologi” tillfogade Franka P. Averdung, President och VD av SUSS-MicroTec AG. ”Ska Den låter dem till omgående räddningen kostar i denna utmana ekonomiska miljö.”,