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FRT Introduit l'Outil de Mesure Optique Neuf d'Épaisseur de Film

Published on June 8, 2009 at 9:59 AM

FRT, un associé de confiance pour les systèmes de mesure extérieurs métrologiques industrie-prouvés, présents un outil de mesure optique neuf d'épaisseur de film au Laser 2009 de cette année à Munich. Le MicroSpy PI neuf mesure non-destructively les couches qui transparent ou semi-transparent en spectre visible et de proche-infrared de la lumière.

L'outil de mesure facile à utiliser d'épaisseur de film est rentable et puissant en même temps. Avec son mode novateur de mappage d'épaisseur de film 3D, l'outil permet à la mesure d'épaisseur des zones vêtantes entières de concevoir et évaluer la régularité de la distribution d'épaisseur de film ainsi que des mesures classiques de remarque et de profil sur la couche. En Outre, des films autoportés tels que des ailes, les films uniques ou les films empilés sur un substrat peuvent être caractérisés. L'outil est utilisé dans la recherche et le contrôle qualité des produits novateurs dans les domaines de la technologie médical-, de semi-conducteur et de microsystème (MST) ainsi que dans le photovoltaics, le bloc optique et l'industrie automobile.

Selon la tâche donnée de mesure, le FRT MicroSpy PI neuf est équipé d'un senseur interférométrique ou réflectométrique rapide d'épaisseur de film. Une sélection de neuf types différents de senseur avec des sources lumineuses variées, les tailles d'endroit de mesure et les domaines de mesure d'épaisseur offrent la souplesse grande pour la mesure de toutes sortes de matériaux de couche et épaisseurs de couche de quelques mm vers le bas à 10 nanomètres.

L'outil neuf est très facile à utiliser avec la formation minimum exigée. Sa Caméra ccd intégrée avec l'illumination fournit une illustration sous tension d'appareil-photo de la zone de mesure directement en logiciel. Positionner d'Échantillon est fait avec le bouton de clic de souris par une table motorisée de précision avec un domaine de course de 50 millimètres X 50 millimètres. Pour mettre le senseur au foyer parfait, FRT a compris un axe des z à haute précision avec la définition de micromètre qui est habituellement trouvée dans seulement les microscopes optiques les plus de haute qualité.

Last Update: 17. January 2012 01:02

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