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Nagoya Institute of Technology Auftrag für die Black Magic II CVD-Tool von AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , ein führender Anbieter von Depositions-Anlagen für die Halbleiter-Industrie, gab heute bekannt, dass Nagoya Institute of Technology in Nagoya, Japan, hat eine Black Magic II CVD-Tool bestellt.

Der Auftrag für die Tool wurde im ersten Quartal des Jahres 2009 erhalten und wird in einem 2-Zoll-Wafer-Konfiguration geliefert werden. Es war im 1. Quartal ausgeliefert und die Installation des Systems wird durch die lokale AIXTRON-Support-Team in der Universität Anlage während Q2 abgeschlossen sein.

Der Black Magic II, eine kombinierte thermische CVD-und Plasma-CVD-Tool wird für die Abscheidung von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNTs) für die Entwicklung von Technologien für mikroelektronische Bauelemente wie zB Kühlkörper verwendet werden, über Leiterbahnen für zukünftige LSIs, Feldeffekt-Transistoren (FETs), biologische Sensoren und andere Nanotechnologie-Komponenten.

Associate Prof. Yasuhiko Hayashi, Nagoya Institute of Technology kommentiert: "Nach unserer Einschätzung der AIXTRON Black Magic II CNT-System genau unseren Forschungsziele. Das Entwicklungsprogramm für unsere Kühlkörper, über Leiterbahnen, elektronischen Bauteilen und Sensorik erfordert materielles Wachstum, das auch kontrolliert wird sowohl vertikal als auch als seitlich, so dass CNTs in selektiv gemusterten Bereichen auf eine hohe Wachstumsrate zu schaffen ausgerichtet. Ich bin mir sicher, dass das Werkzeug von großem Nutzen hilft uns brauchbare Strukturen schnell und effizient sein. "

AIXTRON Black Magic II CVD (Chemical Vapour Deposition) Tool verwendet ein schnelles Aufheizen und Plasma-Technologien, die in dem Gebiet wurden seit 2005 bewährt. Mit diesem System können die Kunden eine Reihe von verschiedenen Arten von Nanoröhren, einschließlich niedriger Temperatur, mehrlagig, single-wall und Super-Growth-Nanoröhrchen herzustellen. Das Tool wurde entwickelt, um einfach zu entweder für Labor-oder Produktionsanlagen verwenden

Last Update: 9. October 2011 18:22

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