Nagoya Institute of Technology Μέρη Τάξης για την Μαύρη Μαγεία ΙΙ εργαλείο CVD από AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , ο κορυφαίος πάροχος εξοπλισμού απόθεσης για τον κλάδο των ημιαγωγών, ανακοίνωσε σήμερα ότι Nagoya Institute of Technology στη Ναγκόγια της Ιαπωνίας, έχει παραγγείλει ένα μαύρο Magic II CVD εργαλείο.

Η εντολή για το εργαλείο ελήφθη κατά το πρώτο τρίμηνο του 2009 και θα παραδοθεί σε μια διαμόρφωση γκοφρέτα 2 ιντσών. Ήταν αποσταλεί κατά τη διάρκεια Q1 και η εγκατάσταση του συστήματος θα ολοκληρωθεί από την τοπική ομάδα υποστήριξης AIXTRON στις εγκαταστάσεις του πανεπιστημίου κατά τη διάρκεια του Q2.

Η Μαύρη Μαγεία ΙΙ, μια συνδυασμένη θερμική CVD και την ενίσχυση πλάσματος CVD εργαλείο, θα χρησιμοποιηθούν για την εναπόθεση των νανοσωλήνων άνθρακα (CNTs) για την ανάπτυξη τεχνολογιών για μικροηλεκτρονικές συσκευές όπως καταβόθρες θερμότητας, μέσω διασυνδέει για το μέλλον Ίσιδος, τον τομέα-αποτελέσματος τρανζίστορ (FETs), βιολογικούς αισθητήρες και άλλα συστατικά που βασίζονται στην νανοτεχνολογία.

Αναπληρωτής Καθηγητής Yasuhiko Hayashi, Nagoya Institute of Technology σχόλια: «Κατά την εκτίμηση μας η AIXTRON Black Magic II CNT σύστημα ταιριάζει ακριβώς με στόχο την έρευνα μας. Το αναπτυξιακό πρόγραμμα για την ψύκτρα μας, μέσω διασυνδέσεων, ηλεκτρονικά εξαρτήματα και εφαρμογές αισθητήρων απαιτεί την ανάπτυξη υλικό που ελέγχεται καλά κάθετα αλλά και ως πλευρικά ευθυγραμμιστεί ώστε να δημιουργηθεί CNTs σε επιλεγμένα τυποποιημένες περιοχές με υψηλό ρυθμό ανάπτυξης. Είμαι βέβαιος ότι το εργαλείο θα είναι προς μεγάλο όφελος βοηθώντας μας να παράγουμε χρήσιμες δομές γρήγορα και αποτελεσματικά. "

Μαύρη Μαγεία AIXTRON του ΙΙ CVD (εναπόθεση ατμού με χημικές) εργαλείο απασχολεί ταχεία θέρμανση και τεχνολογίες πλάσματος που έχουν αποδειχθεί στον τομέα από το 2005. Με το σύστημα αυτό, οι πελάτες είναι σε θέση να παράγει μια σειρά διαφορετικών τύπων των νανοσωλήνων, συμπεριλαμβανομένης της χαμηλής θερμοκρασίας, πολλαπλών τοιχωμάτων, μονού τοιχώματος και υπερ-ανάπτυξη νανοσωλήνων. Το εργαλείο έχει σχεδιαστεί ώστε να είναι εύκολο στη χρήση τους είτε για εργαστηριακές εγκαταστάσεις παραγωγής ή

Last Update: 6. October 2011 10:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit