Nagoya Institute of Technology paikat tilaus Black Magic II CVD Tool AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , johtava laskeuman laitteita puolijohdeteollisuuden ilmoitti tänään, että Nagoya Institute of Technology Nagoya, Japani, on tilannut yhden Black Magic II CVD työkalu.

Jotta työkalu saatiin vuoden 2009 ensimmäisellä neljänneksellä ja se toimitetaan 2 tuuman kiekkojen asetuksia. Se oli lähetetty aikana Q1 ja asennustyöt saadaan valmiiksi paikallinen AIXTRON tukiryhmän yliopiston tiloissa aikana Q2.

Black Magic II, yhdistetty lämpö-CVD ja plasma-CVD työkalu, käytetään laskeuman hiilinanoputkien (CNTs) ja teknologian kehittämistä mikroelektroniikan laitteita kuten jäähdytyslevyjen kautta välikaapelit tulevaisuuden LSIs, kenttä-vaikutus transistorit (FET), biologiset anturit ja muut nanoteknologiaan perustuvia komponentteja.

Associate Prof Yasuhiko Hayashi, Nagoya Institute of Technology kommentoi: "Meidän arvion AIXTRON Black Magic II CNT järjestelmä täsmälleen Tutkimuksemme tavoitteena. Kehittämisohjelma meidän jäähdytyslevyn kautta kytkennät, elektroniset komponentit ja anturin sovelluksissa vaatii materiaalia kasvu on hyvin hallinnassa pystysuunnassa samoin kuin on sivusuunnassa kohdakkain niin kuin luoda CNTs vuonna valikoivasti kuviollinen alueilla voimakas kasvu. Olen varma, että työkalu on suurta hyötyä auttaa meitä tuottamaan hyödyllisiä rakenteita nopeasti ja tehokkaasti. "

AIXTRON Black Magic II CVD (CVD) työkalu työllistää nopea lämmitys ja plasma tekniikoiden jotka ovat osoittautuneet alalla vuodesta 2005. Tällä järjestelmällä asiakkaat pystyvät tuottamaan useita erilaisia ​​nanoputkia, kuten alhainen lämpötila, monikerroksinen, yhden seinän ja super-kasvua nanoputkia. Työkalu on suunniteltu helpoksi käyttää joko laboratoriossa tai tuotantolaitoksissa

Last Update: 9. October 2011 10:47

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit