L'Institut de Technologie de Nagoya Passe la Commande de l'Outil de CVD de la Magie Noire II d'AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG, un premier fournisseur de matériel de dépôt à l'entreprise de semiconducteurs, annoncé aujourd'hui cet Institut de Technologie de Nagoya à Nagoya, Japon, a commandé un outil de CVD de la Magie Noire II.

La commande pour l'outil a été reçue dans le premier trimestre de 2009 et sera fournie dans une configuration de disque de 2 pouces. Elle a été expédiée pendant le Q1 et l'installation de système sera remplie par l'équipe locale de support d'AIXTRON dans l'installation de l'université pendant le Q2.

La Magie Noire II, un outil amélioré combiné de CVD de thermique et de CVD de plasma, seront utilisés pour le dépôt des nanotubes de carbone (CNTs) pour le développement des technologies pour les dispositifs microélectroniques tels que des heatsinks, par l'intermédiaire de interconnecte pour futur LSIs, des transistors à effet de champ (FETs), des senseurs biologiques et d'autres composants basés de nanotechnologie.

Associez Prof. Yasuhiko Hayashi, commentaires d'Institut de Technologie de Nagoya : « Dans notre estimation le système de la Magie Noire II CNT d'AIXTRON apparie exact nos objectifs de recherches. Le programme de développement pour notre heatsink, par l'intermédiaire de interconnecte, des composantes électroniques et les applications de senseur exige l'accroissement matériel qui est bien réglé verticalement ainsi que transversal aligné afin de produire CNTs dans des zones sélecteur modelées à des tarifs de forte croissance. Je suis sûr que l'outil sera de l'avantage grand nous aidant à produire les structures utiles rapidement et efficacement. »

L'outil de CVD de la Magie Noire II d'AIXTRON (déposition en phase vapeur) utilise les technologies rapides de chauffage et de plasma qui ont été prouvées dans le domaine depuis 2005. Avec ce système, les abonnées peuvent produire un domaine de différents types de nanotubes, y compris des nanotubes de basse température, de multiwall, à mur unique et de superbe-accroissement. L'outil a été conçu pour être facile à utiliser pour le laboratoire ou les installations productives

Last Update: 17. January 2012 01:02

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