Aixtron社からブラックマジックIIのCVDツールのための技術の場所の順序の名古屋工業大学

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

Aixtron社AG 、半導体業界への成膜装置のリーディングプロバイダは、名古屋、日本の名古屋工業大学では、一ブラックマジックIIのCVDツールを注文したことを発表しました。

ツールのための順序は、2009年第1四半期に受信され、2インチウェハの構成でお届けいたします。それは第1四半期中に出荷され、システムのインストールは、Q2の間に大学の施設でローカルAixtron社のサポートチームによって完成されます。

ブラックマジックII、複合熱CVDやプラズマCVDツール、将来のLSIの相互接続を経由して、このようなヒートシンクのような超小型電子デバイスのための技術の開発のために(CNT)をカーボンナノチューブの成膜に使用される、電界効果トランジスタ(FET)を、生物学的センサーやその他のナノテクノロジーベースのコンポーネント。

准教授泰彦林、技術コメントの名古屋研究所:"私たちの評価ではAixtron社ブラックマジックIIのCNTシステムは正確に我々の研究の目的と一致する。私たちのヒートシンクの開発プログラムは、相互接続を経由して、電子部品およびセンサーのアプリケーションがうまく垂直に制御されるだけでなく、横方向に高い成長率で選択的にパターニングされた領域でCNTを作成するように整列されている材料の成長が必要です。私はツールは、私たちは迅速かつ効率的に有用な構造を作り出す手助け大きな利益となると確信しています。"

Aixtron社のブラックマジックIIのCVD(化学蒸着)ツールは、2005年以来、フィールドで実証されている急速な加熱とプラズマ技術を採用しています。このシステムにより、お客様は、低温、多層、単層および超成長ナノチューブを含むナノチューブの異なるタイプの範囲を、生産することができる。このツールは、実験室や生産設備のいずれかに対して、使いやすいように設計されています

Last Update: 7. October 2011 12:19

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