Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Nagoya Institute of Technology Places Orde voor Black Magic II CVD Tool van AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , een toonaangevende leverancier van depositie apparatuur aan de halfgeleiderindustrie, heeft vandaag aangekondigd dat Nagoya Institute of Technology in Nagoya, Japan, heeft een Black Magic II CVD hulpmiddel besteld.

De opdracht voor het gereedschap werd ontvangen in het eerste kwartaal van 2009 en zal worden geleverd in een 2-inch wafer configuratie. Het was verscheept tijdens Q1 en de installatie van het systeem zal worden ingevuld door de lokale AIXTRON support team in facility van de universiteit tijdens Q2.

The Black Magic II, een gecombineerde thermische CVD-en plasma versterkt CVD tool, zal worden gebruikt voor de afzetting van koolstof nanobuisjes (CNTs) voor de ontwikkeling van technologieën voor micro-elektronische apparaten zoals heatsinks, via interconnects voor toekomstige LSI's, field-effect transistors (FET), biologische sensoren en andere nanotechnologie gebaseerde componenten.

Associate Professor Yasuhiko Hayashi, Nagoya Institute of Technology zegt: "In onze beoordeling van de AIXTRON Black Magic II CNT-systeem komt exact overeen met ons onderzoek is gericht. Het ontwikkelingsprogramma voor onze koellichaam, via interconnects, elektronische onderdelen en sensoren toepassingen vereist materiële groei die goed verticaal wordt gecontroleerd maar ook als zijwaarts, zodat gericht om CNTs in selectief patroon gebieden te creëren met een hoge groei. Ik ben er zeker van dat de tool zal van groot nut zijn ons te helpen produceren nuttige structuren snel en efficiënt. "

AIXTRON's Black Magic II CVD (Chemical Vapour Deposition) tool maakt gebruik van snelle verwarming en plasma-technologieën die zijn in het veld bewezen sinds 2005. Met dit systeem, kunnen klanten een waaier van verschillende types van nanobuisjes, waaronder lage temperatuur, laag, single-wand-en super-groei nanobuizen te produceren. De tool is ontworpen om gemakkelijk te gebruiken voor zowel laboratorium of productie-installaties

Last Update: 7. October 2011 14:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit