Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Институт Технологии Нагоя Делает Заказ Заказ для Инструмента CVD Черного Волшебства II от AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG, ведущий провайдер оборудования низложения к индустрии полупроводника, объявленный сегодня тому Институту Технологии в Нагоя, Японии Нагоя, приказывало один инструмент CVD Черного Волшебства II.

Заказ для инструмента был получен в первая четверти 2009 и будет поставлен в конфигурации вафли 2 дюймов. Он был погружен во время Q1 и установка системы будет выполнена местный группой обеспечения AIXTRON в средстве университета во время Q2.

Черное Волшебство II, совмещенный термальный CVD и увеличенный плазмой инструмент CVD, будет использовано для низложения nanotubes углерода (CNTs) для развития технологий для микроэлектронных приборов как теплоотводы, через соединения для будущего LSIs, транзисторов пол-влияния (FETs), биологических датчиков и других компонентов нанотехнологии основанных.

Свяжите Prof. Yasuhiko Hayashi, комментарии Института Технологии Нагоя: «В нашей оценке система Черного Волшебства II CNT AIXTRON точно соответствует нашим целям исследования. Программа развития для нашего теплоотвода, через соединения, электронные блоки и применения датчика требует материального роста который хорошо проконтролирован вертикально так же, как боково выровнян для того чтобы создать CNTs в выборочно сделанных по образцу областях на тарифе высокого роста. Я уверен что инструмент будет большого преимущества помогая нам произвести полезные структуры быстро и эффективно.»

Инструмент CVD Черного Волшебства II AIXTRON (низложения химического пара) использует быстрые технологии топления и плазмы которые доказаны в поле с 2005. С этой системой, клиенты могл произвести ряд разных видов nanotubes, включая nanotubes низкой температуры, multiwall, одностеночных и супер-роста. Инструмент был конструирован для того чтобы быть легок для использования для или лаборатории или производственных объектов

Last Update: 14. January 2012 04:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit