Nagoya Institute ng mga Lugar ng Order ng Teknolohiya para sa Black Magic II CVD Tool mula sa AIXTRON

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AIXTRON AG , isang nangungunang provider ng ​​mga salaysay na kagamitan sa industriya semiconductor, inihayag ngayon na Nagoya Institute of Technology sa Nagoya, Japan, ay iniutos ng isa Black Magic II CVD tool.

Ang pagkakasunud-sunod para sa tool ay natanggap sa unang quarter ng 2009 at ay maihahatid sa 2 pulgada barkilyos configuration. Ito ay naipadala sa panahon ng Q1 at sistema ng pag-install ay nakumpleto sa pamamagitan ng lokal na koponan AIXTRON support sa pasilidad sa unibersidad sa panahon ng Q2.

Ang Black Magic II, ang isang pinagsamang thermal CVD at plasma pinahusay CVD tool, ay gagamitin para sa mga salaysay ng mga carbon nanotubes (CNTs) para sa pagbuo ng mga teknolohiya para sa microelectronic mga aparato tulad ng mga sinks init, sa pamamagitan ng interconnects para sa mga hinaharap LSIs, patlang-epekto transistors (FETs), biological sensors at iba pang Nanotechnology batay bahagi.

Associate Prof. Yasuhiko Hayashi, Nagoya Institute ng mga puna ng Teknolohiya: "Sa aming pagtatasa AIXTRON Black Magic II CNT sistema ay eksaktong tumutugma sa aming mga Nilalayon ng pananaliksik. Ang development program para sa aming init lababo, sa pamamagitan ng interconnects, electronic na mga bahagi at mga aplikasyon ng sensor ay nangangailangan ng paglago ng materyal na rin kinokontrol patayo pati na rin bilang laterally nakahanay upang lumikha CNTs sa selectively patterned lugar sa isang mataas na rate ng paglago. Ako ba na tool ay ng mahusay na benepisyo ng pagtulong sa amin gumawa ang kapaki-pakinabang na mga kaayusan mabilis at mahusay na. "

AIXTRON Black Magic II CVD (chemical singaw salaysay) ang tool employs mabilis na pag-init at plasma teknolohiya na ay napatunayan sa patlang mula 2005. Sa sistemang ito, ang mga customer ay magagawang makabuo ng isang hanay ng mga iba't ibang mga uri ng mga nanotubes, kabilang ang mababang temperatura, multiwall, isang pader at sobrang paglago nanotubes. Ang tool ay idinisenyo upang maging madaling gamitin para sa alinman sa mga pasilidad ng laboratoryo o produksyon

Last Update: 27. October 2011 12:53

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit