名古屋技術研究所發出訂單不可思議 II 從 AIXTRON 的 CVD 工具

Published on June 9, 2009 at 2:09 AM

AG,證言設備主導的提供者 AIXTRON 對半導體行業的,今天宣佈該名古屋技術研究所在名古屋,日本,定購了一個不可思議 II CVD 工具。

工具的訂單在第一季度在一種 2 英寸薄酥餅配置收到了 2009年和被提供。 它被發運了在 Q1 期間在 Q2 期間,并且系統安裝將由在大學的設備的局部 AIXTRON 流動代課教師組完成。

不可思議 II,聯合的熱量 CVD 和等離子改進的 CVD 工具,為碳 nanotubes 的證言 (CNTs)技術的發展的將使用微電子學設備的例如吸熱器,通過為將來的 LSIs、場效應晶體管、 (FETs)生物傳感器和其他納米技術基於要素互聯。

關聯 Yasuhiko Hayashi,名古屋技術研究所教授備注: 「在我們的鑒定 AIXTRON 不可思議 II CNT 系統正確地符合我們的研究目標。 我們的吸熱器的發展方案,通過互聯,電子元件,并且傳感器應用要求在選擇性地被仿造的區垂直很好被控制以及側向地對齊以便創建 CNTs 以一種高效成長費率的物質增長。 我肯定工具幫助我們的將是極大福利導致有用的結構迅速和高效」。

AIXTRON 的不可思議 II CVD (化學氣相沉積) 工具使用在域證明自 2005年以來的迅速熱化和等離子技術。 此系統,客戶能導致 nanotubes 的不同的類型的範圍,包括低溫、 multiwall、單一牆壁和超增長 nanotubes。 工具被設計是易用的為實驗室或生產設施

Last Update: 24. January 2012 18:46

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