SEMATECH , o consórcio global de principais fabricantes de semicondutores, tem continuado a liderança no desenvolvimento de triagem, e caracterização de novos materiais, ferramentas e processos que permitem CMOS de escala e tecnologias emergentes será mais demonstrado durante o 2009 VLSI Technology Symposium on junho 15-17, 2009, no Rihga Royal Hotel em Kyoto, Japan.
Em uma área de investigação, tecnólogos de Materiais SEMATECH e Emerging Technologies programa demonstraram reduções significativas na altura da barreira Schottky e resistência de contato que são críticas para o aprimoramento contínuo do desempenho do dispositivo em nós tecnologia do futuro.
Como escala continua, uma das preocupações mais prementes da tecnologia CMOS para além do nó de 45 nm é a resistência de contato na fonte / dreno regiões, que vem de uma barreira Schottky relativamente alta entre Si dopado tipo n e siliceto de níquel. Pesquisadores SEMATECH irá delinear o progresso recente em explorar estruturas interface alternativa, reduzindo as resistências parasitárias da fonte e as regiões de dreno e melhorar a mobilidade.
"Através de intensa pesquisa e desenvolvimento, SEMATECH tem desenvolvido soluções manufacturable com novos materiais e interfaces que reduzam a fonte de fuga de resistência parasitária. Estas abordagens implementação prática permitir que futuros canais avançado portão e alta mobilidade ", disse Raj Jammy, presidente SEMATECH o vice de tecnologias emergentes. "Nós estamos continuando a empurrar a tecnologia CMOS aos limites, enquanto nós testar a viabilidade de novas tecnologias de próxima geração."
Avanços SEMATECH conduzido em materiais e da estrutura do dispositivo será destaque no simpósio, incluindo o seguinte:
- Uma sessão de foco recém-oferecida, "3D-Sistema de Integração", o diretor SEMATECH do programa de interconexão 3D, Sitaram Arkalgud, vai entregar uma conversa convidada destacando a importância da integração TSV 3D para as futuras gerações tecnológicas.
- Uma discussão painel de especialistas, "Opções de tecnologia-chave para 16 nm CMOS and Beyond - Quebrar as Barreiras" incluirá Raj SEMATECH Jammy.
- O painel "É TSV 3D LSI e Embalagens finalmente pronto ou é apenas outra fantasia?", Co-moderado por Sitaram Arkalgud, abordará a questão de quais aplicativos estão impulsionando o desenvolvimento de TSVs.
Além disso, especialistas de Materiais SEMATECH e Emerging Technologies programa irá apresentar seis trabalhos técnicos: