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MEMSの信頼性に関するハンドブック

Published on June 19, 2009 at 8:42 PM

研究と市場、国際市場調査と市場データのための主要なソースは、ジョンワイリーアンドサンズ社の新しい本"の追加発表したMEMSの信頼性を提供する彼らを"。

排他的および詳細に微小電気機械、材料、部品及び機器の信頼性を決定するための原則、ツールや手法をカバーするためには、この最初の本は、両方のコンポーネントの材料だけでなく、全体のMEMSデバイスをカバーします。二つの主要な部分に分け、信頼性の問題への一般的な序章に続く、最初の部分は詳細に必要な計測技術を説明する、MEMSに使用する材料の機械的性質を調べ - nanoindenters、バルジの方法、曲げ試験、引張試験、など。第二部は、圧力センサ、慣性センサ、RF MEMS、光学MEMSなどの重要なデバイスのカテゴリ別に整理、実際のデバイスを、扱います。

修田畑は、博士号を取得1993年名古屋工業大学、日本、学位。 1981年から1996年、彼は愛知県、日本のトヨタ中央研究所と開発研究所で、産業研究を行った。彼はその後、滋賀県、日本の立命館大学の機械工学科に入社し、IMTEKフライブルク、ドイツ、時とチューリッヒ工科大学、スイスでのゲストの教授職を過ごした。 2003年に、彼は京都大学、日本に入社。現在のところ、彼は、マイクロエンジニアリング専攻教授です。教授田畑は、マイクロ/ナノプロセス、MEMS、マイクロ/ナノシステム合成工学(SENS)の研究に従事している。彼は、ベスト特許賞は、から1987年、1992年に発表論文賞のサイエンスニュース賞を受賞、そして1993年と1998年にR&D 100 Awardを受賞センサ第19回センサシンポジウムの、ベストポスター賞、マイクロマシン、および2002年にシステムを適用した2004年には立命館大学。彼は日本の電気学会のシニアメンバー、日本機械学会や電気電子技術者協会のシニアメンバーの一員です。

俊之土屋は彼の博士号を取得2002年に名古屋大学、日本、学位。 1993年から2004年に、彼は愛知県、日本のトヨタ中央研究所と開発研究所で、産業研究を行った。 2004年に、彼は京都大学の機械工学科に入社し、現在はマイクロエンジニアリング学科の准教授です。俊之土屋の現在の研究は、マイクロ/ナノ材料とMEMSとマイクロ/ナノシステム合成工学(SENS)の機械的性質の評価に焦点を当てています。彼は1998年にR&D 100賞を受賞しました。

Last Update: 8. October 2011 19:14

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