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Linde Installiert Europas erste CE-markierte On-Site Fluor-Generator bei STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Als Pionier in der europäischen Elektronikindustrie Bemühungen für eine nachhaltige Produktion von Halbleitern, Linde Gas, ein Geschäftsbereich der The Linde Group hat installiert Europas erste CE-Kennzeichnung vor Ort Elektronik grade Fluor (F2)-Generator bei STMicroelectronics Crolles 300mm Wafer-Werk in Frankreich. Als Teil der STMicroelectronics "-Initiative, die Umweltauswirkungen der Herstellung von Halbleitern niedriger, hat Hochdruckzylinder F2 durch zwei neue Linde-Generation-F Vor-Ort-Fluor-Generatoren ersetzt worden - die eine niedrige Druck, voll redundante Versorgung von hoher Reinheit F2 und die Beseitigung die Notwendigkeit, zu transportieren und zu halten Zylinder vor Ort.

The Linde Fluor-Generatoren und Zusatzgeräte verbinden bewährte Technologie mit eigensicheren Design bieten STMicroelectronics eine On-Demand, sichere und zuverlässige Quelle von reinem F2 für Chemical Vapour Deposition (CVD)-Kammer Reinigung. Ein Zylinder von Fluorwasserstoff (wird als Ausgangsmaterial für die Vor-Ort-Generator) liefert die gleiche Menge an F2, um die Fab als 100 Hochdruck-F2 Zylinder - deutlich zu reduzieren Pflegeaufwand, während die sehr niedrigen Systemdruck sorgt für wesentlich mehr Sicherheit für Alle STMicroelectronics Ingenieure.

"Als Betreiber von thermischen CVD Öfen, um Kosten zu optimieren und das Risiko zu minimieren durch strengere Sicherheitsanforderungen aussehen, Linde ist Sehen ein schnelleres Tempo der Annahme für Vor-Ort-Erzeugung von Fluor", sagte Greg Shuttleworth, Semiconductor Product Manager für Linde Gases Division. "Wir sind auch zunehmend Interesse an der Nutzung F2 als Alternative zu NF3 für die Reinigung von Plasma-Enhanced CVD-Kammern aufgrund von Bedenken hinsichtlich der sehr hohen Treibhauspotenzial von NF3 und bevorstehende Gesetzgebung, die seine Verwendung einschränken könnte."

"Die Installation des ersten Vor-Ort Europas Fluor-Generatoren in unserem Crolles Wafer-Anlage ist ein Beweis für STMicroelectronics Engagement zur Erhöhung der Sicherheit und Verbesserung unserer Öko-Fußabdruck", sagte David Ferrand, Direktor der Einrichtungen des Crolles 200 und Crolles 300 Fabs. "Wir haben direkt unseren Kohlenstoff-Fußabdruck zu Crolles 300mm indem Zylinder Lieferungen reduziert. Wir sind von der Potenzial für noch größere ökologische Effizienz mit Hilfe der Erzeugungskapazitäten in anderen Reinigungsanwendungen sind begeistert."

Zuvor war jeder Zylinder ändern Chance für Kontamination des Systems, aber nun ist die STMicroelectronics Crolles 300mm Anlage verfügt über viel größere Zuverlässigkeit der Gas-box Komponenten durch die Beseitigung dieser häufigen Änderungen. Es gibt auch weniger gefährliche Abfälle, da es keine Notwendigkeit, Zylinder reinigen, um sicherzustellen, dass sie völlig leer vor dem Wechsel, wodurch Einsparungen und Verringerung der Last auf STMicroelectronics Minderung Systeme.

Die Linde-Generation-F Vor-Ort-Fluor-Generator hat durch umfangreiche Dritter Unbedenklichkeitsbewertungen worden und können jetzt die CE-Kennzeichnung, die SEMI S2-Zertifikat unter der Liste der nationalen und der Industrie anerkannten Sicherheitsstandards. Zusätzlich zu den Generatoren selbst, haben Linde Nebenleistungen Puffer und Minderung Systeme, die sicher liefern variable Mengen an Fluor, auch CE-Kennzeichnung und SEMI S2 zertifiziert. Einschließlich der bei STMicroelectronics, hat Linde versorgt und arbeitet fast 30-Generation-F-Systeme weltweit für die Halbleiter-treffen, Display-und Photovoltaik-Industrie 'Kammer gereinigt werden muss.

STMicroelectronics "Programme, um den Einsatz von Energie, Wasser und Chemikalien an allen Standorten zu reduzieren sind die Grundlage ihrer langjährigen Ökoeffizienz Ansatz zur Umweltverantwortung. STMicroelectronics hält die Verwaltung der verwendeten Chemikalien, zusammen mit dem Klimawandel, wie die wichtigsten Umweltprobleme und wurde reduzierenden chemischen Verbrauch um mehr als fünf Prozent pro Jahr im Durchschnitt seit 1998.

Last Update: 6. October 2011 01:02

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