Linde Instala el Primer Generador In Situ CE-Marcado del Flúor de Europa en STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Promoviendo los esfuerzos Europeos de la industria de electrónica para la fabricación sostenible de semiconductores, los Gases de Linde, división Del Grupo de Linde, han instalado el primer generador in situ CE-marcado del flúor del grado de la electrónica (F2) de Europa en la planta de fabricación del fulminante de Crolles 300m m de STMicroelectronics en Francia. Como parte de la iniciativa de STMicroelectronics para bajar las consecuencias para el medio ambiente de producir los semiconductores, el cilindro de alta presión F2 ha sido reemplazado por dos generadores in situ del flúor de la nueva Generación-f de Linde - proporcionando a una presión inferior, fuente completo redundante de la pureza elevada F2 y eliminación de la necesidad de transportar a y de guardar los cilindros en sitio.

Los generadores del flúor de Linde y el equipo auxiliar combinan tecnología probada con diseño de seguridad inherente para proporcionar a STMicroelectronics un a pedido, una caja fuerte y altamente una fuente fiable de F2 puro para la limpieza del compartimiento de la Deposición (CVD) de Vapor Químico. Un cilindro de fluoruro de hidrógeno (usado como el material de origen para el generador in situ) proporciona a la misma cantidad de F2 al fabuloso como 100 cilindros de alta presión F2 - importante reduciendo carga de trabajo del mantenimiento, mientras que la presión de sistema muy inferior proporciona a seguro mucho mayor para todos los representantes técnicos de STMicroelectronics.

“Mientras Que los operadores de los hornos térmicos del CVD observan para optimizar costos y para disminuir riesgo con requisitos de seguro más estrictos, Linde está viendo un paso más rápido de la adopción para el flúor generado in situ,” dijo a Greg Shuttleworth, Director de Producto del Semiconductor para la División de los Gases de Linde. “También estamos viendo interés cada vez mayor al usar el F2 como opción a NF3 para la limpieza de los compartimientos del CVD Plasma-Aumentar debido a las preocupaciones por el potencial muy alto del calentamiento del planeta de NF3 y de la legislación inminente que podrían restringir su uso.”

“La instalación de los primeros generadores in situ del flúor de Europa en nuestra planta de fabricación del fulminante de Crolles es testamento a la consolidación de STMicroelectronics al seguro cada vez mayor y mejorando nuestra eco-huella,” dijo a David Ferrand, Director de Recursos en el Crolles 200 y Crolles 300 fabs. “Tenemos de reducción directa nuestra huella del carbón en Crolles 300m m eliminando salidas del cilindro. El potencial para incluso la mayor eficiencia ambiental Nos excitamos usando la capacidad de generación en otras aplicaciones de la limpieza.”

Previamente, cada cambio del cilindro era una oportunidad para la contaminación del sistema, pero ahora el recurso de STMicroelectronics Crolles 300m m tiene confiabilidad mucho mayor de los componentes del rectángulo del gas eliminando estos cambios frecuentes. Hay también menos desechos peligrosos pues no hay necesidad de purgar los cilindros para asegurarse que están totalmente vacíos antes de ahorros cambiantes, cada vez mayores y de reducir la carga en los sistemas de la disminución de STMicroelectronics.

El generador in situ del flúor de la Generación-f de Linde ha estado con evaluaciones de tercera persona extensas del seguro y puede ahora agregar la Marca del CE SEMI al certificado S2 entre su filete del nacional y de los patrones de seguro reconocidos industria. Además de los generadores ellos mismos, el almacenador intermediaro ancilar de Linde y los sistemas de la disminución, que entregan con seguridad cantidades variables de flúor, también han sido CE-marcados y SEMI S2 certificados. Incluyendo ésos en STMicroelectronics, Linde ha suministrado y gestiona casi 30 sistemas de la Generación-f por todo el mundo para resolver el semiconductor, visualización y la limpieza del compartimiento de las industrias fotovoltaicas necesita.

Los programas de STMicroelectronics para reducir el uso de la energía, del agua y de las substancias químicas en todos los sitios son el asiento de su prolongada aproximación de la eco-eficiencia a la administración ambiental. STMicroelectronics considera la administración de las substancias químicas que utiliza, junto con cambio de clima, como los aspectos medioambientales más importantes, y ha estado reduciendo el consumo químico por el más de cinco por ciento al año, por término medio, desde 1998.

Last Update: 14. January 2012 00:40

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