Linde Installa il Primo Generatore In Loco Ce-Contrassegnato del Fluoro di Europa a STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Aprendo La Strada agli sforzi dell'industria elettronica Europea per fabbricazione sostenibile dei semiconduttori, i Gas di Linde, una divisione Del Gruppo di Linde, ha installato il primo generatore in loco Ce-contrassegnato del fluoro del grado dell'elettronica (F2) di Europa in di impianto di fabbricazione del wafer del Crolles 300mm di STMicroelectronics in Francia. Come componente dell'iniziativa di STMicroelectronics per abbassare l'impatto ambientale della produzione dei semiconduttori, il cilindro ad alta pressione F2 è stato sostituito da due generatori in loco del fluoro della nuova Generazione-f di Linde - fornendo una pressione bassa, offerta completamente ridondante di elevata purezza F2 ed eliminare la necessità di trasportare a e tenere i cilindri sul sito.

I generatori del fluoro di Linde e l'equipaggiamento ausiliario combinano la tecnologia collaudata con progettazione di per sé sicura per fornire STMicroelectronics un a vista, una cassaforte ed altamente una fonte affidabile di F2 puro per pulizia della camera (CVD) Di Deposizione Chimica In Fase Di Vapore. Un cilindro di acido fluoridrico (usato come la materia grezza per il generatore in loco) fornisce la stessa quantità di F2 al favoloso come 100 cilindri ad alta pressione F2 - significativamente diminuendo il carico di lavoro di manutenzione, mentre la pressione di sistema molto bassa fornisce la sicurezza molto maggior per tutti gli ingegneri di STMicroelectronics.

“Mentre gli operatori delle fornaci termiche di CVD guardano per ottimizzare i costi e minimizzare il rischio con i requisiti di sicurezza più rigorosi, Linde sta vedendo un passo più rapido di approvazione per fluoro generato in loco,„ ha detto Greg Shuttleworth, Gestore di Prodotto a Semiconduttori per Divisione dei Gas di Linde. “Inoltre stiamo vedendo l'interesse aumentante nel usando il F2 come alternativa a NF3 per la pulizia delle camere di CVD Plasma-Migliorare dovuto le preoccupazioni sopra il potenziale molto alto di riscaldamento globale di NF3 e della legislazione imminente che potrebbero limitare il suo uso.„

“L'impianto dei primi generatori in loco del fluoro di Europa in nostro di impianto di fabbricazione del wafer di Crolles è testamento all'impegno di STMicroelectronics alla sicurezza aumentante e migliorando la nostra eco-orma,„ ha detto David Ferrand, Direttore degli Impianti al Crolles 200 e a Crolles 300 fabs. “Abbiamo direttamente ridotto nostra orma del carbonio a Crolles 300mm eliminando le consegne del cilindro. Siamo eccitati dal potenziale per ancora maggior risparmio di temi ambientale utilizzando la capacità di generazione in altre applicazioni di pulizia.„

Precedentemente, ogni cambiamento del cilindro era un'opportunità per contaminazione del sistema, ma ora la funzione di STMicroelectronics Crolles 300mm ha affidabilità molto maggior delle componenti del contenitore di gas eliminando questi frequenti cambiamenti. Ci sono egualmente meno rifiuti pericolosi poichè non c'è necessità di purgare i cilindri per assicurarsi che siano completamente vuoti prima del risparmio cambiante e aumentante e della diminuzione del caricamento sui sistemi della riduzione di STMicroelectronics.

Il generatore in loco del fluoro della Generazione-f di Linde è stato con le estese valutazioni di terzi della sicurezza e può ora aggiungere il Segno del CE al certificato dei SEMI S2 fra la sua lista del cittadino e delle norme di sicurezza riconosciute l'industria. Oltre ai generatori stessi, il buffer dipendente di Linde ed i sistemi di riduzione, che consegnano sicuro gli importi variabili di fluoro, egualmente sono stati Ce-contrassegnati e SEMI S2 certificati. Compreso quelli a STMicroelectronics, Linde ha fornito e gestisce quasi 30 sistemi della Generazione-f universalmente per incontrare il semiconduttore, visualizzazione e la pulizia della camera delle industrie fotovoltaiche ha bisogno di.

I programmi di STMicroelectronics per diminuire l'uso di energia, dell'acqua e dei prodotti chimici a tutti i siti sono le fondamenta del suo approccio di lunga durata di eco-risparmio di temi ad amministrazione ambientale. STMicroelectronics considera la gestione dei prodotti chimici che usa, con mutamento climatico, come le questioni ambientali più importanti e sta diminuendo il consumo chimico da più di cinque per cento l'annualmente, in media, dal 1998.

Last Update: 14. January 2012 01:43

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