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Linde는 STMicroelectronics에 유럽의 첫번째 세륨 표시되어 있는 현지 불소 발전기를 설치합니다

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

반도체의 유지할 수 있는 제조를 위한 유럽 전자제품 산업의 노력, Linde 가스 개척, Linde 단의 부분은 프랑스에 있는 STMicroelectronics의 Crolles 300mm 웨이퍼 제작 공장에, (F2) 유럽의 첫번째 세륨 표시되어 있는 현지 전자공학 급료 불소 발전기를 설치했습니다. 반도체 생성의 환경에 주는 영향을 낮추는 STMicroelectronics의 이니셔티브의 한 부분으로, 고압적인 실린더 F2는 2개의 Linde 새로운 발생 F 현지 불소 발전기 대체되어 - 저압, 높은 순수성 F2와에 수송하고 사이트에 실린더를 지키는 필요를 삭제하는의 완전히 과다한 공급을 제공하.

Linde 불소 발전기 및 보조 장비는 본질적인 안전 디자인에 입증된 화학 수증기 공술서 약실 청소를 STMicroelectronics를 순수한 F2의 주문, 안전한과 고신뢰 근원 제공하기 위하여 기술을 (CVD) 결합합니다. (현지 발전기에 원자료로 사용되는) 100개의 고압 F2 실린더로 놀랍것에 수소 불화물의 1개의 실린더는 아주 낮은 시스템 압력은 STMicroelectronics 모든 엔지니어에게 매우 더 중대한 안전을 제공하는 그러나, F2의 동일 분량을 제공해 - 중요하게 정비 표준 노동량을 감소시키.

"비용을 낙관하고는 더 엄격한 안전 수요를 통해 리스크를 극소화하는 위하여 열 CVD 로의 통신수가 보는 때, Linde는 현지 생성한 불소를 위해 채용의 더 빠른 걸음을 보고 있습니다," 그렉 Shuttleworth, Linde 가스 부를 위한 반도체 생산 매니저를 말했습니다. "우리는 또한 NF3에 대안으로." 그것의 사용을 제한할 수 있던 절박한 입법과 NF3의 아주 높은 지구 온난화 잠재력에 관심사 때문에 플라스마 강화하 CVD 약실의 청소를 위해 F2 사용에 있는 증가 관심사를 보고 있습니다

"유럽의 우리의 Crolles 웨이퍼 제작 공장에 첫번째 현지 불소 발전기의 임명 증가 안전에 STMicroelectronics의 투입에 성약이고 우리의 eco 발자국 향상,"는 데비드 Ferrand를 Crolles 200 및 Crolles에 기능의 디렉터 300의 fabs 말했습니다. "우리는 Crolles 300mm에 실린더 납품을 삭제해서 직접 우리의 탄소 발자국을 감소시켰습니다. 우리는 그밖 청소 응용에 있는 세대 수용량을 사용해서 훌륭한 환경 효율성 조차를 위한 잠재력에 의해 흥분합니다."

이전에, 각 실린더 변경은 시스템의 오염을 위한 기회이었습니다, 그러나 지금 STMicroelectronics Crolles 300mm 시설에는 이 빈번한 변경을 삭제해서 가스 상자 분대의 매우 더 중대한 신뢰도가 있습니다. 지키기 위하여 실린더를 깨끗이 하기 아무 필요도 없기 때문에 또한 더 적은 위험한 폐기물이 있습니다 변경, 증가 savings 및 STMicroelectronics의 감소 시스템에 짐을 감소시키기 전에 완전하게 비다는 것을.

Linde 발생 F 현지 불소 발전기는 광대한 제삼자 안전 평가를 통해 이고 지금에 S2 증명서 세륨 표를 동포와 기업에 의하여 인식된 안전 표준의 그것의 명부의 사이에서 반 추가할 수 있습니다. 안전하게 불소 변하기 쉬운 양을 투발하는, 발전기 그들자신 이외에, 증명된 Linde의 보조 버퍼 및 감소 시스템은 또한 세륨 표시되어 있고습니다 반 계속 S2입니다. STMicroelectronics에 그들을 포함하여, Linde는 거의 30의 발생 F 시스템을 세계전반 공급하고 반도체, 전시를 충족시키기 위하여 작전하고 광전지 기업의 약실 청소는 필요로 합니다.

모든 사이트에 에너지, 근해 및 화학제품의 사용을 감소시키는 STMicroelectronics의 프로그램은 환경 청지기직에 그것의 오래 계속되는 eco 효율성 접근의 기초입니다. STMicroelectronics는, 가장 중요한 환경문제와 같이 고려하고, 이용하는 화학제품의 관리를, 기후 변화와 더불어 1998년부터 일년에 5% 화학 소비를, 평균, 감소시키고 있습니다.

Last Update: 14. January 2012 04:33

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