Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Линде Устанавливает Генератор Фтора Европы Первый CE-Маркированный Приобъектный на STMicroelectronics

Published on June 29, 2009 at 5:57 AM

Pioneering Европейские усилия индустрии электроники для устойчивого изготавливания полупроводников, Газы Линде, разделение Группы Линде, устанавливали генератор фтора ранга электроники Европы первый CE-маркированный (F2) приобъектный на завод изготовления вафли Crolles 300mm STMicroelectronics в Франция. Как часть инициативы STMicroelectronics для того чтобы понизить экологическое воздействие производить полупроводники, цилиндр высокого давления F2 был заменен 2 генераторами фтора нового Поколения-F Линде приобъектными - обеспечивающ низкое давление, польностью резервную поставку особой чистоты F2 и исключать потребность транспортировать к и сдержать цилиндры на месте.

Генераторы и внешнее оборудование фтора Линде совмещают доказанную технологию с внутреннеприсуще безопасной конструкцией для того чтобы обеспечить STMicroelectronics по требованию, сейф и сильно достоверный источник чисто F2 для чистки камеры Низложения (CVD) Химического Пара. Один цилиндр фтористого водорода (используемого как исходный материал для приобъектного генератора) снабубежит то же самое количество F2 сказочное как 100 высоких цилиндров F2 давления - значительно уменьшающ рабочую нагрузку обслуживания, пока очень низкое давление системы обеспечивает очень большую безопасность для всех инженеров STMicroelectronics.

«По Мере Того Как смотрят, что оптимизируют цены и уменьшают операторы термальных печей CVD риск через более строгие требования к безопасности, Линде видит более быструю побежку принятия для приобъектного произведенного фтора,» сказал Грег Shuttleworth, Менеджер по Продукции Полупроводника для Разделения Газов Линде. «Мы также видим увеличивая интерес в использовании F2 как алтернатива к NF3 для чистки камер CVD Плазм-Увеличивать должных к заботам над очень высоким потенциалом глобального потепления NF3 и неизбежного законодательства которое смогли ограничить свою пользу.»

«Установка генераторов фтора Европы первых приобъектных на нашем заводе изготовления вафли Crolles завет к принятию окончательного решения STMicroelectronics к увеличивая безопасности и улучшающ наш eco-след ноги,» сказал Дэвид Ferrand, Директор Средств на Crolles 200 и Crolles 300 fabs. «Мы сразу уменьшали наш след ноги углерода на Crolles 300mm путем исключать поставки цилиндра. Мы возбуждены потенциалом для даже большой относящой к окружающей среде эффективности путем использование емкости поколения в других применениях чистки.»

Ранее, каждое изменение цилиндра была возможностью для загрязнения системы, но теперь средство STMicroelectronics Crolles 300mm имеет очень большую надежность компонентов коробки газа путем исключать эти частые изменения. Также меньше токсичных отходов по мере того как никакая потребность продуть цилиндры для того чтобы обеспечить что они вполне пусты перед изменяя, увеличивая сбережениями и уменьшением нагрузки на системах abatement STMicroelectronics.

Генератор фтора Поколения-F Линде приобъектный через обширные третья сторона оценки безопасности и может теперь добавить CE Марк к SEMI сертификату S2 среди своего списка соотечественника и узнанных индустрией норм бесопасности. В дополнение к генераторам сами, аттестованный буфер Линде вспомогател и системы abatement, которые безопасно поставляют переменное количество фтора, также CE-маркированны и SEMI S2. Включая те на STMicroelectronics, Линде поставлял и приводится в действие почти 30 систем Поколения-F всемирно для того чтобы встретить полупроводник, дисплей и чистке камеры фотовольтайческих индустрий.

Программы STMicroelectronics для уменьшения пользы энергии, воды и химикатов на все места учредительство своего многолетнего подхода к eco-эффективности к относящой к окружающей среде должности управляющего. STMicroelectronics рассматривает управление химикатов оно использует, вместе с изменением климата, как самые важные вопросы защиты окружающей среды, и уменьшает химическое потребление больше чем 5 процентами год, на среднем, с 1998.

Last Update: 14. January 2012 02:33

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit