JEOL Dimostra remoto New ultra risoluzione analitica FE SEM

Published on June 30, 2009 at 8:16 PM

JEOL , un fornitore leader di microscopi elettronici ad altissima risoluzione per l'imaging e di analisi, presenterà la sua nuova risoluzione altissima, di analisi Field Emission termica microscopio elettronico a scansione (SEM), il JSM-7600F, tramite visualizzazione live e il controllo remoto da Semicon West, San Francisco luglio 14-16.

JEOL JSM-7600F analitica FE SEM

La SEM sarà comandato a distanza dal casello di JEOL # 606 per dimostrare di imaging ad altissima risoluzione fino a 1.000.000 di ingrandimento X e raggi X mappatura analitica dei singoli livelli, composizione elementare, contaminanti, il particolato e difetti di processo in dispositivi a semiconduttore.

L'unico completamente analitici campo emissione SEM per caratterizzare una grande camera con camera di compensazione scambiare grandi volumi di campione e LN2 anti-contaminatore, il JSM-7600F ospita esemplari fino a 200 mm di diametro, e dispone di una elevata stabilità a 5 assi stadio disco eucentrica motore che possono essere inclinato da -5 a 70 °.

Il microscopio elettronico a colonna produce la più alta corrente del fascio disponibile su qualsiasi SEM FEG, e fornisce immagini superiore di campioni non conduttori che tradizionalmente carica. Il JSM-7600F danni fascio minimizza il calore campioni sensibili, cioè dielettrici low-k, e offre una maggiore stabilità per incustodito l'acquisizione dei dati, l'analisi delle particelle, EBSD, e X-ray mappatura.

Il JEOL JSM-7600F è completamente attrezzato per le tecniche di analisi completa e può contemporaneamente visualizzare e acquisire immagini e dati provenienti da quattro diversi tipi di rivelatori di imaging. La SEM fa anche il doppio dovere come un diretto scrivere e-beam strumento litografia quando dotato di un soppressore abbagliante velocità e un generatore di pattern (vedi comunicato precedente a

Last Update: 8. October 2011 17:46

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