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KLA-Tencor 宣佈 28xx 寬頻 Brightfield 檢查系統的新的升級程序包

Published on June 30, 2009 at 9:09 PM

今天 KLA-Tencor Corporation (那斯達克:KLAC),一位主導的提供者程序控制和產生管理解決方法,有客戶的合作夥伴環球開發科技目前進步水平檢驗,并且計量學技術,宣佈了 XP, 28xx 寬頻 brightfield 檢查系統的一個新的升級程序包。

XP 程序包是允許對標準集成電路設計版面文件的檢查系統訪問的第一個商業可用的產品 - 使屏蔽界面仿造屏蔽的指令。 對此信息的獲取,檢查系統可能使用缺陷的地點的知識在電路內的改善估計其影響設備產量的概率。 另外, XP 可能使用設計意識薄酥餅檢驗的結果識別在可能是特別敏感的對處理差異在打印期間的屏蔽的功能。 這些和 XP 升級程序包的其他功能被設計改進現有的 28xx 檢查員區分和生產率和培養缺陷結果信息含量,幫助加速缺陷問題的確定和解決方法。

「作為籌碼複雜和價格壓增量在我們消費者主導的市場上,我們的客戶請求工具實現根原因缺陷分析,改進他們的生產率,并且快速地影響,更加高效的舷梯」,陳述了麥克柯克、 Ph.D。,副總統和總經理 KLA-Tencor 的薄酥餅檢驗組。 「今天我們的前進 fabs 必須應付使 193nm 石版印刷打印與維數接近十分之一的功能照明波長的先進的石版印刷技術,在可數的原子可能現在被評定的維數。 在此環境裡,在薄酥餅的最小的缺陷或在屏蔽的甚而少量的模式可能有極大產量影響。 我們新的 XP 程序包在對表示一個主要進步我們的客戶演講』请需要優選缺陷獲取和識別從毫不相關或 ` 討厭』缺陷海運的系統和其他產量相關缺陷。 而且, XP 可能有效提供此重要的功能: 作為已經存在於多數前進 fabs 的檢查系統的升級」。

新的 XP 程序包包括被設計的幾個功能改進檢驗結果或檢查員生產率,包括:

  • 在電路模式的密度基礎上 - 在檢驗時 - 的產量相關缺陷優先獲取在缺陷站點;
  • 缺陷獲取的優化在所有興趣範圍的在彀子內的中通過使用電路設計信息設置高度局限化的缺陷檢測閾值根據模式組;
  • 少量的石版印刷情況的早檢測,啟用由模式的類型接近的監控有最小的處理毛利; 并且
  • 衍生物 「處方的」脫機生成 - 管理這個檢驗 - 的光學,機械和算法參數設置的新的層或新的設備。 此功能,幾個處方加速度功能之一,可能極大減少時刻和勞動必需的處方設置,從而增長的檢查員生產率和使處方優化可行甚而為小的許多或設備迅速原型。

提供的,當對廣泛採用的 281x 和 282x brightfield 檢查系統的升級, XP 程序包被發運了到多個鑄造廠,內存和邏輯 fabs 和在超過 20 個技術文章以為特色。

Last Update: 24. January 2012 20:44

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