חדש FE-SEM משלבת רזולוציה גבוהה ניתוח ובפעם הראשונה

Published on July 1, 2009 at 9:12 AM

היום Carl Zeiss מכריז סדרה של השקות המכסים מגוון של חידושים המוצר היישום. תחילתה של סדרה זו מתאפיינת הדור הבא מיקרוסקופ ניתוח פליטת שדה אלקטרונים סורק - ™ MERLIN. מכשיר זה משלב את עד עכשיו הדרישות הסותרות של הדמיה ברזולוציה גבוהה במיוחד ויכולות אנליטיות. "ללקוחות יש צורך יותר מאשר רק תמונות ברזולוציה גבוהה של דגימות שלהם", ד"ר דירק Stenkamp, ​​חבר מועצת המנהלים ב Carl Zeiss SMT מסביר. "עם יכולות ניתוח ייחודי המכשירים שלנו מספקים מידע מקסימלית עם תובנה מקסימלית".

היבט מרכזי של FE-SEM חדשים MERLIN ™ מבית Carl Zeiss היא קלות השימוש, למשל ב-situ ניקוי המדגם, תשלום פיצויים ייחודי או רכישת התמונה פחות מדקה אחת.

MERLIN ™ - ניתוח ברזולוציה גבוהה באחד

MERLIN FE-SEM מתגבר הקונפליקט בין רזולוציית התמונה ויכולת אנליטית. הליבה של MERLIN היא העמודה משופרת תאומים II אשר, עם מערכת כפולה הקבל שלה, משיגה תמונה ברזולוציה של 0.8 ננומטר. במדגם הנוכחי של עד 300 nanoamperes זמין למטרות אנליטיות כגון אנרגיה dispersive גל רנטגן ספקטרוסקופיה (EDS ו WDS), ניתוח דיפרקציה של אלקטרונים backscattered (EBSD) או דור cathodoluminescence.

המערכת תומכת משתמש עם מגוון רחב של פתרונות מפורטים עבור משימות שלא ניתן לבצעו כראוי בעבר. הקרן על ההישג הזה כבר הונחו על ידי "מערכת איתור השלם" Carl Zeiss. זה מורכב הגלאי SE ב-עדשה עבור דימות פני השטח, את גלאי בתוך העדשה ESB עבור בניגוד החומר ואת גלאי ASB עבור אלקטרונים backscattered מפוזר באופן נרחב. האחרונים מכילים מידע ספציפי על הכיוון קריסטל של המדגם.

תשלום פיצויים ייחודי למערכת של מרלין גם מאפשר הדמיה ברזולוציה גבוהה של אי - מוליך דגימות. אלקטרונים אשר מצטברים על פני השטח של המדגם הם נסחפים סילון קנס של חנקן. בעשותו כן, מערכת גילוי מלא של MERLIN ניתן להשתמש. מאפיין נוסף של מערכת פיצויים תשלום הוא ערוץ חמצן טהור שמאפשר באתרו מדגם ניקוי. בתוך תא ואקום השכיחים פיקדונות פחמן מוסרים מדגם השטח, ובכך לייצר דמות משמעותית במצנן ו contrasty. האפשרויות הן מאפשרות למשתמש להתרכז הדמיה וניתוח של המדגם במקום להשקיע זמן וכסף בהכנה המדגם.

מערכת אלקטרונית חדשה של מרלין היתרי תצורה מכשיר גמיש. גלאי נוספים ניתן retrofitted במהירות, המאפשרת למשתמש להתאים את המערכת לדרישות גוברת. בנוסף, גמישות זו הופכת את ההשקעה יותר בעתיד הוכחה ומאפשר למשתמש ליהנות במהלך ארוך טווח של פיתוח גלאי מתמשך.

"MERLIN החדש, וכן את תחנת עבודה רק לאחרונה הציג AURIGA הקורה בצורה מושלמת לגלם מה המוצרים שלנו עומדים על: מידע מרבי - מקסימום אינסייט", נקודות Stenkamp החוצה. "וגם - השוק יכול לצפות הרבה יותר בשבועות הקרובים עד M & M להראות את ועידת מיקרוסקופית אירופה בגראץ, אוסטריה, סוף אוגוסט".

Last Update: 9. October 2011 14:28

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit