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新しい FE-SEM は高リゾリューションおよび分析をはじめて結合します

Published on July 1, 2009 at 9:12 AM

今日カールツァイスはおよびアプリケーション革新製品の範囲をカバーする一連の進水を発表します。 このシリーズの開始は次世代の分析的なフィールド放出走査型電子顕微鏡 - MERLIN™によって示されます。 この器械は超高度の解像度イメージ投射および分析的な機能の今まで矛盾した条件を結合します。 「サンプルのよりちょうど高リゾリューションの画像が」に、ダーク Stenkamp のカールツァイス SMT のボードのメンバー先生説明する顧客多くにのための必要性があります。 「一義的で分析的な機能を私達の器械は最大洞察力の最大情報に」与えます。

カールツァイスからの新しい FE-SEM MERLIN™の主要な面は使い易いです、 1 分以下の例えば in-situ サンプルクリーニング、一義的な料金の補償または画像の獲得。

MERLIN™ - 1 の分析そして高リゾリューション

マーリン FE-SEM は解像度と分析的な機能間の対立を克服します。 マーリンのコアは、二重コンデンサーシステムと、 0.8 ナノメーターの解像度を達成する高められたジェミニ II コラムです。 300 までの nanoamperes のサンプル流れはエネルギーおよび波長の分散 X 線分光学 (EDS および WDS)、 backscattered 電子 (EBSD) の回折の分析または cathodoluminescence の生成のような分析的な目的のために使用できます。

十分に以前行うことができなかったタスクのための詳しい解決の広い範囲を持つユーザーをシステム支援。 この達成の基盤はカールツァイス 「完全な検出システム」によって築かれました。 これは表面イメージ投射のための内部レンズ SE の探知器、物質的な対照のための内部レンズ EsB の探知器および広く分散させた backscattered 電子のための AsB の探知器から成っています。 後者はサンプルの水晶オリエンテーションの特定の情報を含んでいます。

マーリンの一義的な料金の補償システムはまた非導電サンプルの高解像イメージ投射を可能にします。 サンプルの表面で集まる電子は窒素の良いジェット機によって掃除されます。 その際に、マーリンの完全な検出システムは使用することができます。 料金の補償のためのシステムの追加機能は純粋な酸素のためのチャネルで in-situ サンプルクリーニングを可能にします。 従って真空槽の頻繁に行われるカーボン・ディポジットの中ではサンプル表面から除去され、かなりよりぱりっとした、 contrasty 画像を作り出します。 オプションは両方ともユーザーサンプル準備に時間をおよびお金が投資するかわりにサンプルのイメージ投射そして分析に集中するようにします。

マーリンの新しい電子システムは適用範囲が広い器械構成を可能にします。 追加探知器はすぐに改装することができま成長する条件にシステムを適応させることをユーザーを許可します。 さらに、この柔軟性は投資を未来防止にし、ユーザーを進行中の探知器の開発から長期に寄与することを可能にします。

「私達の製品が意味するものを新しいマーリン、またちょうど最近導入された AURIGA の大梁ワークステーションは完全に具体化します: 最大情報 - 最大洞察力は」、 Stenkamp 指摘します。 「および - 市場はグラーツ、オーストリア、 8 月の終わりはの M&M ショーそしてヨーロッパの顕微鏡検査の会議まで大いにもっと数週間のうちに期待できます」。

Last Update: 13. January 2012 21:40

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