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新的 FE-SEM 第一次结合高分辨率和分析

Published on July 1, 2009 at 9:12 AM

今天卡尔蔡司宣布包括产品范围和应用创新的一系列的生成。 此串联起始时间由下一代分析场致发射扫描电子显微镜 - MERLIN™指示。 此仪器结合超离频的解决方法想象和分析功能的到现在矛盾的需求。 “客户有对更多的需要比他们的范例的高分辨率图象”,德克 Stenkamp,董事会的成员博士卡尔的蔡司 SMT 解释。 “以唯一分析功能我们的仪器供给最大信息最大答案”。

新的 FE-SEM MERLIN™的一个关键因素从卡尔蔡司的是易用的,例如原地范例清洁、唯一充电报酬或者图象购买在少于一分钟之内。

MERLIN™ - 分析和高分辨率在一个

默林 FE-SEM 解决在分辨率和分析功能之间的冲突。 默林的核心是,与其双冷凝器系统,达到 0.8 毫微米的分辨率的改进的双子星座 II 列。 300 nanoamperes 范例当前为分析目的是可用的例如能源和波长分散性 X-射线分光学 (EDS 和 WDS),对 backscattered 电子 (EBSD) 的衍射分析或阴极发光的生成。

系统支持用户用不可能以前足够执行的任务的各种各样的详细解决方法。 此成绩的基础由卡尔蔡司 “完全检测系统”打了。 这包括表面想象的透镜 SE 探测器,物质对比的透镜 EsB 探测器和广泛被分散的 backscattered 电子的 AsB 探测器。 后者包含关于这个范例的晶体取向的特定信息。

默林唯一充电报酬系统也允许绝缘的范例高分辨率想象。 在这个范例的表面累计的电子由氮气一架细致的喷气机转移。 在这种情况下,可以使用默林完全检测系统。 系统的一个另外的功能充电报酬的是纯氧的一条通道启用原地范例清洁。 在真空箱频繁地发生的炭积内从范例表面被去除,因而导致一个显着更加酥脆和明暗差别强烈图象。 两个选项允许这个用户集中对这个范例的想象和分析而不是投资时间和货币在范例准备。

默林的新的电子系统允许一种灵活的仪器配置。 另外的探测器可以迅速被更新,允许这个用户适应这个系统生长需求。 另外,此灵活性使这次投资更加防远期并且使这个用户有益于在长期从持续的探测器发展。

“新的默林,以及最近介绍的御夫星座横梁工作区完全实现什么我们的产品代表: 最大信息 - 最大答案”, Stenkamp 指出。 “并且 - 这个市场可能在以后几星期预计直到 M&M 显示和欧洲显微学会议在格拉茨,奥地利,底 8月”。

Last Update: 13. January 2012 19:23

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