新的 FE-SEM 第一次結合高分辨率和分析

Published on July 1, 2009 at 9:12 AM

今天卡爾蔡司宣佈包括產品範圍和應用創新的一系列的生成。 此串聯起始時間由下一代分析場致發射掃描電子顯微鏡 - MERLIN™指示。 此儀器結合超離頻的解決方法想像和分析功能的到現在矛盾的需求。 「客戶有對更多的需要比他們的範例的高分辨率圖像」,德克 Stenkamp,董事會的成員博士卡爾的蔡司 SMT 解釋。 「以唯一分析功能我們的儀器供給最大信息最大答案」。

新的 FE-SEM MERLIN™的一個關鍵因素從卡爾蔡司的是易用的,例如原地範例清潔、唯一充電報酬或者圖像購買在少於一分鐘之內。

MERLIN™ - 分析和高分辨率在一个

默林 FE-SEM 解決在分辨率和分析功能之間的衝突。 默林的核心是,與其雙冷凝器系統,達到 0.8 毫微米的分辨率的改進的雙子星座 II 列。 300 nanoamperes 範例當前為分析目的是可用的例如能源和波長分散性 X-射線分光學 (EDS 和 WDS),對 backscattered 電子 (EBSD) 的衍射分析或陰極發光的生成。

系統支持用戶用不可能以前足够執行的任務的各種各樣的詳細解決方法。 此成績的基礎由卡爾蔡司 「完全檢測系統」打了。 這包括表面想像的透鏡 SE 探測器,物質對比的透鏡 EsB 探測器和廣泛被分散的 backscattered 電子的 AsB 探測器。 後者包含關於這個範例的晶體取向的特定信息。

默林唯一充電報酬系統也允許绝緣的範例高分辨率想像。 在這個範例的表面累計的電子由氮氣一架細致的噴氣機轉移。 在這種情況下,可以使用默林完全檢測系統。 系統的一個另外的功能充電報酬的是純氧的一條通道啟用原地範例清潔。 在真空箱頻繁地發生的炭積內從範例表面被去除,因而導致一個顯著更加酥脆和明暗差別強烈圖像。 兩個選項允許這個用戶集中對這個範例的想像和分析而不是投資時間和貨幣在範例準備。

默林的新的電子系統允許一種靈活的儀器配置。 另外的探測器可以迅速被更新,允許這個用戶適應這個系統生長需求。 另外,此靈活性使這次投資更加防遠期并且使這個用戶有益於在長期從持續的探測器發展。

「新的默林,以及最近介紹的御夫星座橫梁工作區完全實現什麼我們的產品代表: 最大信息 - 最大答案」, Stenkamp 指出。 「并且 - 這個市場可能在以後幾星期預計直到 M&M 顯示和歐洲顯微學會議在格拉茨,奧地利,底 8月」。

Last Update: 24. January 2012 20:44

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