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解决对 45nm 节点的以远缺陷的轴向元素分析的协作和

Published on July 13, 2009 at 8:12 AM

FEI 公司, (那斯达克: FEIC),基本缩放比例想象和分析系统一位主导的提供者和 SEMATECH,芯片制造商全球财团,今天宣布 FEI 公司在学院 Nanoscale 科学和工程连接了 SEMATECH 的提前的计量学发展方案 (CNSE) 大学在阿尔巴尼。 协作在新颖的技术的发展的当前共同努力将扩展启用被改进的程序控制和产量。

作为此程序的成员, FEI 与关于 SEMATECH 的计量学部门的专家将合作开发透射电镜术分析的高分辨率功能 (TEM),与电子能量损失分光学 (EELS)和集中的离子束 (FIB)技术处理在工艺过程开发和缺陷分析的重要需要。 这些工具在一些毫微米等级将提供高分辨率想象和作文数据,为缺陷分析是无价的。

“先进发展计量学程序是的 SEMATECH 的合作设计的一个光辉的榜样主导的设备和材料制造商能参加一家更加清楚的财团大学行业合伙企业开发最尖端的计量学和描述特性技术”,说约翰 Warlaumont,技术 SEMATECH 副总统。 “在国际水平的研究员和工程师中的合作工作成绩从 FEI, SEMATECH 和 CNSE,以及存取对重要实验室分析设备可用在 CNSE 内,形成一个重要基石在提供世界领先的先进的计量学功能给我们的成员”。

“FEI 自豪地把我们高度先进供给 SEMATECH 薄酥饼对TEM 数据设备套件,将帮助他们最大化高分辨率想象的数量和下一代半导体设备的分析数据输出”,说鲁迪 Kellner,副总统 & 总经理 FEI 的电子分部。 “使用自动化,高处理量 CLM+™ TEM 范例准备解决方法,结合与 FEI 的 TEMLink 鳞片请抱起系统, SEMATECH 能导致其巨人的 TEM 优质 TEM 鳞片一件平稳的用品。 用新的 MultiLoader 二重掀动范例持有人装备,巨人 TEM 达到史无前例的连通性的级别在系统平台启用安全,可靠和可追踪的范例调用间的”。

分析 TEM 为基础研究历史上使用了在高级材料发展。 然而,当电子设备处理毫微米缩放比例,包括甚而一些个原子的缺陷变得重要。 TEM 和鳗鱼的组合是唯一地强大的因为它在毫微米等级提供关于物理结构、基本排列、化工接合、密度和电子工作情况的详细信息。 这个结果比对更小的套可能的技术是每材料一个更加完全的配置文件。

“FEI 的 TEM 的综合化用鳗鱼是替换对这个 45nm 节点的缺陷的轴向元素分析的基于 SEM 的 EDX 的一名主导的候选人以下”,副教授和负责人说 Nanoscience 布莱德 Thiel, CNSE SEMATECH 的提前的计量学发展方案的在 UAlbany NanoCollege。 “我们欢迎 FEI 的会员,并且盼望他们的参与,当我们共同努力驾驶进程、材料和为持续的进展和领导是重要的在 nanoscale 制造中的描述特性技术发展”。

“我们高兴地欢迎 FEI 到参与最尖端的 nanoelectronics 研究与开发领先业界的公司生长花名册在 UAlbany NanoCollege”,理查 Brilla,说方法、联盟和财团副总裁在 CNSE。 “与更加进一步的 FEI 的此合作关系展示 SEMATECH-CNSE 合伙企业的成功在加速的 nanoscale 创新的,支持作早期工作在教育和促进高科技经济增长,在纳米技术方面强调纽约的识别作为一位全球领导先锋”。

新的材料的综合化到半导体设备里要求先进的分析描述特性技术例如 TEM 提供的高分辨率想象功能。 小谎技术唯一地适用与准备从甚而最小的设备功能的超薄的 TEM 范例。

在 UAlbany NanoCollege 的 SEMATECH 的提前的计量学发展方案是估计和开发将解决当前和设想的计量学空白的新的描述特性技术。 “我们的目标是开发描述特性技术,并且解决问题的范围的方法,包括影片的,缺陷计量学和 3D 结构”, Thiel 说。

Last Update: 13. January 2012 18:42

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