Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

FEI Kondigt het Nieuwste Lid van de Helios NanoLab Familie aan

Published on July 13, 2009 at 9:07 AM

FEI Company (Nasdaq: FEIC), kondigden een belangrijke leverancier van atoom-schaalweergave en de analysesystemen, vandaag het nieuwste lid van de Helios NanoLab (tm) Familie aan -- Helios 1200 het Volledige systeem van het Wafeltje van DualBeam (tm). De capaciteit van Helios 1200 om volledige wafeltjes te analyseren tot 300 mm verbetert de efficiency van halfgeleider en gegevensopslagmislukking analyse en productiesteunlaboratoria die nauwkeurige gegevens aan de productievloer moeten snel leveren.

„Wij hebben nieuwe Helios 1200 DualBeam ontworpen om de maximumproductiviteit voor mislukkingsanalyse, procesontwikkeling en procesbeheersingsvereisten te verstrekken,“ bovengenoemde Larry Dworkin, product op de markt brengende manager voor volledige het wafeltjesystemen van FEI. De „capaciteit om volledige wafeltjes in het systeem te introduceren staat direct gebruikers toe om rechtstreeks aan veelvoudige die eigenschappen van belang te navigeren op ontwerpgegevens of informatie worden gebaseerd van andere inspectie en van de tekortopsporing hulpmiddelen. De Snelle omschakeling tussen weergave en malen laat nauwkeurige, efficiënte controle van het dwars het segmenteren proces toe. En de weergaveresolutie beduidend dan beter een ander instrument in zijn klasse garandeert superieure analytische resultaten.“

Helios 1200 combineert de het beeldresolutie van wereldklasse van de aftasten (SEM)elektronenmicroscoop en uiterst snelle omschakeling tussen weergave en ionenstraalmalen om snelle, betrouwbare, efficiënte analyse in dwarsdoorsnede van structuren en tekorten te leveren. Zijn capaciteit om volledige wafeltjes aan te passen tot 300 die mm elimineert de tijd wordt vereist om het navigatie gecoördineerde systeem opnieuw te vestigen wanneer het werken met wafeltjestukken.

„In de bijna twee jaar dat zijn inleiding, zijn onze klein-kamerHelios NanoLab DualBeam systemen geïnstalleerd bij elke voorrand fab in de wereld,“ bovengenoemde Rudy Kellner, ondervoorzitter en algemene manager van de Afdeling van de Elektronika van FEI. „Nu, voor het eerst, kunnen wij de zelfde prestaties in een volledig wafeltjesysteem aanbieden.“

Wanneer de analyse het hogere resolutievermogen van een specifieke aftastende transmissieelektronenmicroscoop (S/TEM) laat de technologie eist, van FEI 's Multiloader (tm) snel toe en veilige steekproefoverdracht. Product van de de automatiseringssoftware van FEI het nieuwe, iFAST, verbetert de kwaliteit en de consistentie van veelvoudige, plaats-specifieke steekproeven in één enkele zitting bij een kosten-per-steekproef die met conventionele bulk de steekproefvoorbereidingen van SEM concurrerend is. De Facultatieve spectrometrie van de energie verbrokkelde Röntgenstraal (EDS) op dunne steekproeven biedt samenstellingsanalyse met zeer goede ruimteresolutie aan.

Facultatieve micromanipulator OmniProbe staat extractie in situ van voorbereide lamel TEM toe. Het van de de in-kamernaald van OmniProbe 300's nieuwe de uitwisselingsproces elimineert de behoefte om kamervacuüm te breken om een nieuwe sonde te verkrijgen.

Nieuwe Helios NanoLab 1200 systeem DualBeam is nu beschikbaar.

Last Update: 14. January 2012 01:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit