FEI Объявляет Самый Новый Член Семейства Helios NanoLab

Компания FEI (NASDAQ: FEIC), ведущий провайдер воображения атомн-маштаба и ситемы анализа, сегодня объявили самый новый член Семейства Helios NanoLab (tm) -- система DualBeam Вафли Helios 1200 Полная (tm). Способность Helios 1200 проанализировать полные вафли до 300 mm улучшает эффективность лабораторий поддержки полупроводника и анализа и изготавливания отказа хранения данных которым нужно поставить точные данные быстро к полу продукции.

«Мы конструировали новый Helios DualBeam 1200 для того чтобы обеспечить максимальную урожайность для анализа отказа, требования к отростчатого развития и управления производственным процессом,» сказал Ларри Dworkin, менеджер маркетинга товара для систем вафли FEI полных. «Способность ввести полные вафли сразу в систему позволяет пользователям проводить сразу к множественным характеристикам интереса основанным на проектных данных или информации от других инструментов осмотра и обнаружения дефекта. Быстрое переключение между воображением и филировать позволяют точное, эффективное управление перекрестного распределяя процесса. И разрешение воображения значительно более лучшее чем любая другая аппаратура в своем типе обеспечивает главные аналитически результаты.»

Helios 1200 совмещает мирового класса разрешение изображения (SEM) электронного кинескопа скеннирования и весьма быстрое переключение между воображением и лучем иона филируя для того чтобы поставить быстрый, надежный, эффективный крест-секционный анализ структур и дефекты. Своя способность приспособить полные вафли до 300 mm исключает время необходима, что восстановила навигационную систему координат при работе с частями вафли.

«В почти 2 летах с своего введения, наши системы Helios NanoLab DualBeam мал-камеры были установлены на каждую ведущую кромку сказочную в мире,» сказал Rudy Kellner, недостаток - президент и генеральный директор Разделения Электроники FEI. «Теперь, для the first time, мы можем предложить такое же представление в полной системе вафли.»

Когда анализ требует более высокой возможности разрешения преданного просвечивающего электронного микроскопа скеннирования (S/TEM), технология s Multiloader FEI '(tm) позволяет быстро и безопасный переход образца. Продукт программного обеспечения автоматизации FEI новый, iFAST, улучшает качество и последовательность множественных, мест-специфических образцов в одиночной встрече на цен-в-образце который конкурсн с обычными подготовками образца SEM навальными. Спектрометрирование Рентгеновского Снимка Опционной энергии дисперсивное (EDS) на тонких образцах предлагает анализ состава с очень хорошим пространственным разрешением.

Опционный микроманипулятор OmniProbe позволяет в извлечении situ подготовленной ламеллы TEM. Процесс обменом иглы в-камеры OmniProbe 300's новый исключает потребность сломать вакуум камеры для того чтобы получить новый зонд.

Новая система 1200 Helios NanoLab DualBeam доступна теперь.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit