Site Sponsors
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

FEI Объявляет Самый Новый Член Семейства Helios NanoLab

Published on July 13, 2009 at 9:07 AM

Компания FEI (NASDAQ: FEIC), ведущий провайдер воображения атомн-маштаба и ситемы анализа, сегодня объявили самый новый член Семейства Helios NanoLab (tm) -- система DualBeam Вафли Helios 1200 Полная (tm). Способность Helios 1200 проанализировать полные вафли до 300 mm улучшает эффективность лабораторий поддержки полупроводника и анализа и изготавливания отказа хранения данных которым нужно поставить точные данные быстро к полу продукции.

«Мы конструировали новый Helios DualBeam 1200 для того чтобы обеспечить максимальную урожайность для анализа отказа, требования к отростчатого развития и управления производственным процессом,» сказал Ларри Dworkin, менеджер маркетинга товара для систем вафли FEI полных. «Способность ввести полные вафли сразу в систему позволяет пользователям проводить сразу к множественным характеристикам интереса основанным на проектных данных или информации от других инструментов осмотра и обнаружения дефекта. Быстрое переключение между воображением и филировать позволяют точное, эффективное управление перекрестного распределяя процесса. И разрешение воображения значительно более лучшее чем любая другая аппаратура в своем типе обеспечивает главные аналитически результаты.»

Helios 1200 совмещает мирового класса разрешение изображения (SEM) электронного кинескопа скеннирования и весьма быстрое переключение между воображением и лучем иона филируя для того чтобы поставить быстрый, надежный, эффективный крест-секционный анализ структур и дефекты. Своя способность приспособить полные вафли до 300 mm исключает время необходима, что восстановила навигационную систему координат при работе с частями вафли.

«В почти 2 летах с своего введения, наши системы Helios NanoLab DualBeam мал-камеры были установлены на каждую ведущую кромку сказочную в мире,» сказал Rudy Kellner, недостаток - президент и генеральный директор Разделения Электроники FEI. «Теперь, для the first time, мы можем предложить такое же представление в полной системе вафли.»

Когда анализ требует более высокой возможности разрешения преданного просвечивающего электронного микроскопа скеннирования (S/TEM), технология s Multiloader FEI '(tm) позволяет быстро и безопасный переход образца. Продукт программного обеспечения автоматизации FEI новый, iFAST, улучшает качество и последовательность множественных, мест-специфических образцов в одиночной встрече на цен-в-образце который конкурсн с обычными подготовками образца SEM навальными. Спектрометрирование Рентгеновского Снимка Опционной энергии дисперсивное (EDS) на тонких образцах предлагает анализ состава с очень хорошим пространственным разрешением.

Опционный микроманипулятор OmniProbe позволяет в извлечении situ подготовленной ламеллы TEM. Процесс обменом иглы в-камеры OmniProbe 300's новый исключает потребность сломать вакуум камеры для того чтобы получить новый зонд.

Новая система 1200 Helios NanoLab DualBeam доступна теперь.

Last Update: 14. January 2012 01:16

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit