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FEI 宣布 Helios NanoLab 系列的最新的亲属

Published on July 13, 2009 at 9:07 AM

FEI 公司 (那斯达克:FEIC),基本缩放比例想象一位主导的提供者和分析系统,今天宣布了 Helios NanoLab (tm) 系列的最新的亲属 -- Helios 1200 充分的薄酥饼 DualBeam (tm) 系统。 Helios 的能力 1200 分析充分的薄酥饼 300 mm 改进半导体和数据存储故障分析和制造需要迅速提供准确数据到生产楼层的支持实验室效率。

“我们设计新的 Helios 1200 DualBeam 为故障分析提供最大生产率,工艺过程开发和程序控制的需求”,产品营销经理说拉里 Dworkin, FEI 的充分的薄酥饼系统的。 “这个能力介绍充分的薄酥饼直接地到这个系统允许用户驾驶直接地到在设计数据或信息基础上利益的多个功能从其他检验和缺陷检测工具。 在想象之间的快速切换和碾碎允许这个交叉区分的进程的准确,高效的控制。 并且想象解决方法显着好比在其选件类的其他仪器保证优越分析结果”。

Helios 1200 结合国际水平的扫描电子显微镜 (SEM)分辨率和非常快速切换在的想象和碾碎的离子束之间提供对结构的迅速,可靠,高效的横截分析和缺陷。 当与薄酥饼部分一起使用时,其能力适应充分的薄酥饼 300 mm 消灭需时重建可定位坐标系统。

“在接近二年自从其简介,我们的小型房间 Helios NanoLab DualBeam 系统被安装了在很好每前沿在世界上”,总经理说鲁迪 Kellner,副总统和 FEI 的电子分部。 “现在,第一次,我们可以提供在一个充分的薄酥饼系统的同一性能”。

当这个分析需求一台专用的扫描传输电子显微镜 (S/TEM) 时的更加高分辨率的功能, FEI ‘s Multiloader (tm) 技术启用快速和安全范例调用。 FEI 的新的自动化软件产品, iFAST,在一个唯一会议上改进多个,站点特定范例质量和一贯性在是竞争的与常规 SEM 批量范例准备的费用每范例。 选项能源分散性 X-射线光谱 (EDS) 在稀薄的范例提供与非常好空间分辨率的作文分析。

选项 OmniProbe 微细器允许准备的 TEM 鳞片的在原处提取。 OmniProbe 300's 新的房间针替换进程消灭需要中断房间真空获得新的探测。

新的 Helios NanoLab 1200 DualBeam 系统现在是可用的。

Last Update: 13. January 2012 18:42

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