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FEI 宣佈 Helios NanoLab 系列的最新的親屬

Published on July 13, 2009 at 9:07 AM

FEI 公司 (那斯達克:FEIC),基本縮放比例想像一位主導的提供者和分析系統,今天宣佈了 Helios NanoLab (tm) 系列的最新的親屬 -- Helios 1200 充分的薄酥餅 DualBeam (tm) 系統。 Helios 的能力 1200 分析充分的薄酥餅 300 mm 改進半導體和數據存儲故障分析和製造需要迅速提供準確數據到生產樓層的支持實驗室效率。

「我們設計新的 Helios 1200 DualBeam 為故障分析提供最大生產率,工藝過程開發和程序控制的需求」,產品營銷經理說拉里 Dworkin, FEI 的充分的薄酥餅系統的。 「這個能力介紹充分的薄酥餅直接地到這個系統允許用戶駕駛直接地到在設計數據或信息基礎上利益的多個功能從其他檢驗和缺陷檢測工具。 在想像之間的快速切換和碾碎允許這個交叉區分的進程的準確,高效的控制。 并且想像解決方法顯著好比在其選件類的其他儀器保證優越分析結果」。

Helios 1200 結合國際水平的掃描電子顯微鏡 (SEM)分辨率和非常快速切換在的想像和碾碎的離子束之間提供對結構的迅速,可靠,高效的橫截分析和缺陷。 當與薄酥餅部分一起使用時,其能力適應充分的薄酥餅 300 mm 消滅需時重建可定位坐標系統。

「在接近二年自從其簡介,我們的小型房間 Helios NanoLab DualBeam 系統被安裝了在很好每前沿在世界上」,總經理說魯迪 Kellner,副總統和 FEI 的電子分部。 「現在,第一次,我們可以提供在一個充分的薄酥餅系統的同一性能」。

當這個分析需求一臺專用的掃描傳輸電子顯微鏡 (S/TEM) 時的更加高分辨率的功能, FEI 『s Multiloader (tm) 技術啟用快速和安全範例調用。 FEI 的新的自動化軟件產品, iFAST,在一個唯一會議上改進多個,站點特定範例質量和一貫性在是競爭的與常規 SEM 批量範例準備的費用每範例。 選項能源分散性 X-射線光譜 (EDS) 在稀薄的範例提供與非常好空間分辨率的作文分析。

選項 OmniProbe 微細器允許準備的 TEM 鱗片的在原處提取。 OmniProbe 300's 新的房間針替換進程消滅需要中斷房間真空獲得新的探測。

新的 Helios NanoLab 1200 DualBeam 系統現在是可用的。

Last Update: 24. January 2012 21:24

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