KLA-Tencor Anuncia el Nuevos Examen del Defecto del Fulminante Dos y Cartera de la Revista para los Nodos 3Xnm y 2Xnm

Published on July 13, 2009 at 8:10 PM

KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC), el surtidor de cabeza del mundo del mando de proceso y las soluciones de la administración del rendimiento para el semiconductor y las industrias relacionadas, anunciadas dos nuevos sistemas de inspección del fulminante y un nuevo electrón-haz revisan el sistema para abordar ediciones del defecto en los nodos 3Xnm/2Xnm.

La cartera de KLA-Tencor de los sistemas del examen y de la revista del fulminante del defecto para los nodos 3Xnm y 2Xnm incluye las 2830 Series, el Puma 9500 Series, y el eDR-5210 (de izquierda a derecha). (Foto: Business Wire)

La plataforma del examen del fulminante del brightfield de 2830 Series utiliza una fuente de luz del plasma de alta potencia revolucionaria para iluminar los tipos del defecto cuya talla o ubicación los hizo imposibles detectar repeatably hasta ahora. El Puma plataforma del examen del fulminante del darkfield de 9500 Series introduce tecnología de la adquisición de la óptica y de la imagen del descubrimiento que le dé dos veces la resolución dos veces a la velocidad de su precursor-permitir las nuevas herramientas del Puma vigilar más capas y más tipos del defecto a las velocidades del darkfield. La tecnología de segunda generación de la inmersión del electromágnetico-campo de las características de sistema de la revista y de clasificación del e-haz eDR-5210, dirigida para entregar calidad extraordinaria de la imagen y resultados procesables de la clasificación del defecto en un alto conjunto de la productividad. Cada nueva herramienta ofrece ventajas sustanciales sobre tecnología existente en sus los propio. Además, cuando los nuevos sistemas del examen y de la revista trabajan interdependiente, pueden detectar y señalar preferencial los defectos rendimiento-relevantes, activando fabs a determine y remedie más rápidamente las ediciones complejas del defecto en los nodos 3Xnm y 2Xnm.

“Mientras Que muchas otras compañías del equipo se han centrado en el escalamiento detrás de programas y demorar las nuevas plataformas durante el descenso, KLA-Tencor ha continuado invertir pesado en productos de la siguiente-generación que se convertían, incluyendo dos sistemas de inspección innovadores del defecto del fulminante y una herramienta excepcional de la revista para los nodos 3Xnm y 2Xnm,” Mike comentado Kirk, Ph.D., vicepresidente y director general del Grupo del Examen del Fulminante en KLA-Tencor. “Nuestros clientes están introduciendo técnicas complejas de la litografía, los nuevos materiales y las estructuras exóticas. Están haciendo frente a capas adicionales y a ventanas de proceso más pequeñas, y se centran afilado en valor. Para abordar estas ediciones, nuestras personas de la ingeniería colaboraron con los surtidores y los clientes para desarrollar la tecnología verdaderamente innovadora para los 2830, Puma 9500 y sistemas eDR-5210, dándoles capacidad sin precedente. Cada Uno de las herramientas combina avances sustanciales en funcionamiento y la producción. Cada Uno tiene la adaptabilidad para el uso en el múltiplo aplicación-que agrega considerable valor en el ambiente económico de hoy. Cada Uno se diseña para el extendibility a o desde la generación siguiente del dispositivo, de modo que los fabs puedan maximizar la reutilización de su inversión en bienes de equipo. Nos sentimos confiados que junto la nueva cartera del examen y de la revista representa un paso de progresión grande hacia adelante para la industria en el ROI total de la defecto-administración: una detección más rápida de excursiones, de una resolución más rápida de las ediciones difíciles del defecto, y de un tiempo al mercado más rápido para nuestros clientes' siguiente-generación saltara.”

Las 2830 Series y Pumas los sistemas de inspección del defecto del fulminante de 9550 Series y el e-haz eDR-5210 desertan revista y el sistema de clasificación es retrocedido por la red del servicio completa de KLA-Tencor para mantener su alto rendimiento y productividad. Para más detalles en los productos individuales, refiera por favor a los Resúmenes asociados de la Tecnología.

Resumen de la Tecnología: Sistemas de inspección de banda ancha del defecto del brightfield de 2830 Series

En la regla del diseño 3Xnm/2Xnm, las ediciones técnicas en el reino del defectivity son muchas y variado, empezando por el hecho de que los defectos rendimiento-críticos son generalmente más pequeños y más difíciles de capturar que en dimensiones más grandes. Estos defectos son también más duros de distinguir de variaciones naturales tales como tosquedad del línea-borde o variación-pieza del color del mar defectos de la molestia del ` los' que impiden análisis de la causa original. Los defectos Sistemáticos en los fulminante-esos esa huella en varias ocasiones en la misma ubicación o dentro del mismo tipo del modelo en fulminante-están creciendo en incidencia como las reglas del diseño se encogen, con impacto severo en rendimiento. Las Nuevas técnicas y estructuras que modelan en los nodos 3Xnm/2Xnm requieren fabs revisar los nuevos materiales y las capas adicionales.

La nueva plataforma del examen del brightfield de 2830 Series introduce PowerBroadbandTM, una fuente de luz de la alto-brillantez única diseñada para activar una captura más repetible de defectos difíciles, de una operación más rápida, y de una mejor discriminación entre los defectos del interés y los defectos de la molestia. También equipado de un nuevo sistema de adquisición de imagen que ofrece dos veces el índice de datos de su precursor de 2810 Series, las ofertas de 2830 Series que su capacidad marcado creciente en la producción apresura.

Resumen de la Tecnología: Puma sistemas de inspección del defecto del darkfield de 9500 Series

Incluso en el borde delantero, no cada capa del dispositivo es servida mejor por el examen del defecto del brightfield. el examen del darkfield de la Laser-Proyección de imagen puede operatorio en una producción marcado más alta, con el suficiente tipo de la captura del defecto para muchas películas, el grabado de pistas y el CMP de las aplicaciones-típico. La Operación en una producción más alta permite un muestreo más frecuente del proceso, para poder ser determinado y remediar excursiones del defecto antes de que se pierdan los fulminantes adicionales. Porque el tiempo al mercado y el rendimiento son críticos rentabilidad a nuestros clientes', el uso estratégico de una mezcla de sistemas de inspección del brightfield y del darkfield en el fabuloso es necesario lograr el mejor rendimiento del capital invertido fab en el equipo del examen.

El Puma plataforma del examen del darkfield de 9500 Series introduce descubrimiento activando tecnología: la óptica exclusiva de la colección del high-NA* combinó con un laser más de alta potencia, activando las aperturas, un nuevo sistema de adquisición de imagen y los algoritmos innovadores de los cuales junto permita que el examen del darkfield proporcione a un aumento en la sensibilidad-en-producción mayor el de 30%, comparados a nuestra herramienta de la anterior-generación. Este adelanto importante se diseña para permitir a nuestros clientes moverse a la operación de la alto-sensibilidad para apoyar un encogimiento de la crítico-dimensión sin una baja de la productividad. El Puma 9500 puede aplicar Alternativamente su sensibilidad-en-producción adicional para revisar nuevas capas y para capturar defectos más pequeños, con una ventaja de la velocidad que ayude a fabs para traer sus dispositivos marginales para rendir más rápidamente.

Resumen de la Tecnología: revista del defecto del e-haz eDR-5210 y sistema de clasificación

Las características de sistema de la revista y de clasificación del defecto del e-haz eDR-5210 varias mejorías de la tecnología y de la configuración que se diseñan para beneficiar a la resolución de la herramienta, al tipo de la re-detección, a la exactitud de la clasificación y a la productividad. Los avances Adicionales en la conectividad de la herramienta de la revista a los sistemas de inspección de KLA-Tencor refuerzan la rendimiento-importancia de los resultados de los datos del defecto y aumentan la productividad total de la solución de la examen-revista.

Last Update: 13. January 2012 22:37

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