KLA-Tencor Annonce l'Inspection de Défaut du Disque Deux et le Portefeuille Neufs de Révision pour les Noeuds 3Xnm et 2Xnm

Published on July 13, 2009 at 8:10 PM

KLA-Tencor Corporation (NASDAQ : KLAC), le fournisseur principal mondial du contrôle du processus et solutions de management de rendement pour le semi-conducteur et les industries relatives, annoncées deux systèmes de contrôle neufs de disque et un système neuf de révision d'électron-poutre pour aborder des délivrances de défaut aux noeuds 3Xnm/2Xnm.

Le portefeuille de KLA-Tencor des systèmes de contrôle et de révision de disque de défaut pour les noeuds 3Xnm et 2Xnm comprend les 2830 Séries, le Puma 9500 Séries, et l'eDR-5210 (de gauche à droite). (Photo : Business Wire)

Les 2830 Séries de brightfield de disque de plate-forme d'inspection emploie une source lumineuse de plasma de haute puissance révolutionnaire pour illuminer les types de défaut dont taille ou l'emplacement les a rendus impossibles à trouver repeatably avant aujourd'hui. Le Puma 9500 Séries de darkfield de disque de plate-forme d'inspection introduit les blocs optiques de découverte et la technologie d'acquisition des images qui lui donnent deux fois la définition deux fois à la vitesse de son prédécesseur-laisser les outils neufs de Puma pour surveiller plus de couches et plus des types de défaut aux vitesses de darkfield. La technologie de la seconde génération de submersion de champ électromagnétique de fonctionnalités du système de révision et de catégorie de l'e-poutre eDR-5210, conçue pour fournir la qualité des images extraordinaire et les résultats recevables de catégorie de défaut dans un module élevé de productivité. Chaque outil neuf offre les avantages substantiels au-dessus de la technologie existante seule. De plus, quand les systèmes neufs de contrôle et de révision fonctionnent interdépendant, ils peuvent préférentiellement trouver et enregistrer les défauts rendement-appropriés, activant des fabs à plus rapidement recensez et remédiez à des délivrances complexes de défaut aux noeuds 3Xnm et 2Xnm.

« Tandis Que beaucoup d'autres compagnies de matériel ont été concentrées sur l'échelle de retour des programmes et retarder les plates-formes neuves pendant la régression, KLA-Tencor a prolongé à investir fortement dans les produits de la deuxième génération se développants, y compris deux systèmes de contrôle novateurs de défaut de disque et un outil exceptionnel de révision pour les noeuds 3Xnm et 2Xnm, » Mike Kirk marqué à nouveau, Ph.D., vice président et directeur général du Groupe d'Inspection de Disque chez KLA-Tencor. « Nos abonnées introduisent des techniques complexes de lithographie, des matériaux neufs et des structures exotiques. Ils satisfont aux couches supplémentaires et aux plus petits hublots de processus, et sont profondément concentrés sur la valeur. Pour aborder ces délivrances, nos équipes techniques ont collaboré avec des fournisseurs et des abonnées pour développer la technologie véritablement novatrice pour les 2830, le Puma 9500 et les systèmes eDR-5210, leur donnant la capacité sans précédent. Chacun des outils combine des avances substantielles dans la performance et le débit. Chacun a la souplesse pour l'usage dans le multiple application-qui ajoute la valeur considérable dans l'environnement économique d'aujourd'hui. Chacun est conçu pour l'extendibility à ou du prochain rétablissement de dispositif, de sorte que les fabs puissent maximiser la réutilisation de leur investissement dans les biens d'équipement. Nous sommes confiants qu'ensemble le portefeuille neuf d'inspection et de révision représente une étape importante vers l'avant pour l'industrie dans le ROI général de défaut-management : un dépistage plus rapide des excursions, une définition plus rapide des délivrances difficiles de défaut, et un délai d'arrivée au marché plus rapide pour nos abonnées' puces de la deuxième génération. »

Les 2830 Séries et Pumas les systèmes de contrôle de défaut de disque de 9550 Séries et le système de révision et de catégorie de défaut de l'e-poutre eDR-5210 sont reculés par le réseau de service complet de KLA-Tencor pour mettre à jour leur haute performance et productivité. Pour plus de petits groupes sur les différents produits, référez-vous s'il vous plaît aux Résumés ci-joints de Technologie.

Résumé de Technologie : Systèmes de contrôle à bande large de défaut de brightfield de 2830 Séries

À la règle du design 3Xnm/2Xnm, les problèmes techniques dans le royaume de defectivity sont on et varié, commençant par le fait que les défauts rendement-critiques sont généralement plus petits et plus difficiles à les capturer qu'à de plus grandes cotes. Il est également plus difficile de discerner Ces défauts des variations naturelles telles que la rugosité de ligne-arête ou la variation-partie de couleur de la mer défauts de ` de gêne les' qui entravent l'analyse de cause d'origine. Les défauts Systématiques sur les disque-ces cette épreuve à plusieurs reprises dans le même emplacement ou dans le même type de configuration sur disque-se développent dans la prévalence pendant que les règles de design rétrécissent, avec l'incidence sévère sur le rendement. Les techniques et les structures de structuration Neuves aux noeuds 3Xnm/2Xnm exigent des fabs d'examiner les matériaux neufs et les couches supplémentaires.

Les 2830 Séries neuves de brightfield de plate-forme d'inspection introduit PowerBroadbandTM, une source lumineuse de seule haut-brilliance conçue pour activer une capture plus reproductible des défauts difficiles, du fonctionnement plus rapide, et de la meilleure discrimination entre les défauts d'intérêt et les défauts de gêne. Également équipé d'un système neuf d'acquisition des images comportant deux fois le débit de ses 2810 Séries de prédécesseur, les offres de 2830 Séries que sa capacité nettement accrue à la production accélère.

Résumé de Technologie : Puma systèmes de contrôle de défaut de darkfield de 9500 Séries

Même au bord d'attaque, non chaque couche de dispositif mieux est servie par inspection de défaut de brightfield. l'inspection de darkfield de Laser-Représentation peut fonctionner nettement au haut débit, avec des tarifs suffisants de capture de défaut pour beaucoup de films, gravure à l'eau forte et CMP d'applications-type. Le Fonctionnement au haut débit permet un échantillonnage plus fréquent du procédé, de sorte que des excursions de défaut puissent être recensées et remédiées à avant que des disques supplémentaires soient détruits. Puisque le délai d'arrivée au marché et le rendement sont critiques rentabilité à nos abonnées', l'utilisation stratégique d'un mélange des systèmes de contrôle de brightfield et de darkfield dans tous l'ouvrier est nécessaire pour réaliser le meilleur renvoi sur l'investissement fab dans le matériel d'inspection.

Le Puma 9500 Séries de darkfield de plate-forme d'inspection introduit la découverte activant la technologie : le bloc optique exclusif de ramassage de high-NA* a combiné avec un laser plus de haute puissance, activant des ouvertures, un système neuf d'acquisition des images et les algorithmes novateurs permettez ensemble à l'inspection de darkfield de fournir une augmentation dont de sensibilité-à-débit plus grand que 30%, comparés à notre outil de précédent-rétablissement. Cet avancement principal est conçu pour permettre à nos abonnées de déménager au fonctionnement d'élevé-sensibilité pour supporter un rétrécissement de critique-cote sans perte de productivité. Alternativement le Puma 9500 peut appliquer son sensibilité-à-débit ajouté pour examiner des couches neuves et pour capturer de plus petits défauts, avec un avantage de vitesse qui aide des fabs pour porter leurs dispositifs de pointe pour fournir plus rapidement.

Résumé de Technologie : révision de défaut de l'e-poutre eDR-5210 et système de catégorie

Les fonctionnalités du système de révision et de catégorie de défaut de l'e-poutre eDR-5210 plusieurs améliorations de technologie et d'architecture qui sont conçues pour bénéficier la définition de l'outil, les tarifs de re-dépistage, l'exactitude de catégorie et la productivité. Les avances Supplémentaires dans la connectivité de l'outil de révision aux systèmes de contrôle de KLA-Tencor amplifient la rendement-pertinence des résultats de données de défaut et augmentent la productivité générale de la solution d'inspection-révision.

Last Update: 16. January 2012 23:40

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