Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

KLA-Tencor Meddelar att Nytt Rån Två Hoppar av Kontroll och Granskar Portföljen för Knutpunkterna 3Xnm och 2Xnm

Published on July 13, 2009 at 8:10 PM

KLA-Tencor Corporation (NASDAQ: KLAC), världens ledande leverantör av processaa kontrollerar, och avkastningledninglösningar för halvledaren och de släkta branscherna som meddelas två nya rånkontrollsystem och ett nytt, elektron-strålar granskar systemet för att tilltala hoppar av utfärdar på knutpunkterna 3Xnm/2Xnm.

KLAs-Tencors portfölj av hoppar av rånkontroll och granskar system för 3Xnmen, och knutpunkter 2Xnm inkluderar den 2830 Serien, Pumaen 9500 Serie och eDRen-5210 (från från vänster till höger). (Foto: Affären Binder),

För brightfieldrånet för 2830 Serie plattformen för kontroll använder en revolutionär kick-driver ljus källa för plasma för att exponera hoppar av typer vars storleksanpassar, eller läge gjorde dem omöjliga att avkänna repeatably för nu. Pumaen för darkfieldrånet för 9500 Serie plattformen för kontroll introducerar genombrottoptik och avbildar förvärvteknologi som ger den, två gånger som upplösningen på rusa av dess föregångare-låta den nya Pumaen bearbetar två gånger för att övervaka mer lagrar, och mer hoppar av typer på darkfield rusar. EDRna-5210 e-strålar granskar, och understödja-utvecklingen för särdrag för klassifikationssystemet elektromagnetisk-sätter in immersionteknologi som iscensättas för att leverera utöver det vanliga, avbilda kvalitets-, och actionable hoppa av klassifikationsresultat i en kickproduktivitet paketerar. Varje nytt bearbetar erbjudanden som väsentligheten gynnar över existerande teknologi på dess eget. I tillägg när den nya kontrollen och granskar system fungerar beroende av varandra, kan de prioriterat avkänna, och denrelevant rapporten hoppar av och att möjliggöra fabs till identifierar och botar snabbare komplex hoppar av utfärdar på knutpunkterna 3Xnm och 2Xnm.

”Fördriva många andra utrustningföretag har fokuserats på graderingsbaksidaprogram och att försena nya plattformar under nedgången, KLA-Tencor har fortsatt för att investera tungt i framkallande nästa generationprodukter, däribland två som det innovativa rånet hoppar av kontrollsystem, och ett ovanligt granskar bearbetar för knutpunkterna 3Xnm och 2Xnm,” anmärkte Mike Kirk, Ph.D., vicepresidentet och den allmänna chefen av RånKontrollGruppen på KLA-Tencor. ”Introducerar Våra kunder komplexa lithographytekniker, nya material, och exotiskt strukturerar. De klarar av med extra lagrar och mindre processaa fönster och fokuseras keenly på värderar. Att tilltala dessa utfärdar, våra iscensätta lag samarbetade med leverantörer och kunder för att framkalla riktigt innovativ teknologi för 2830na, Puma 9500 och system som eDR-5210 ger dem aldrig tidigare skådad kapacitet. Varje av bearbetar verkliga framflyttningar för sammanslutningar i kapacitet och genomgång. Varje har böjligheten för bruk i multipeln applikation-som tillfogar betydligt värderar i dagens ekonomisk miljö. Varje planläggs för extendibility till eller från den nästa apparatutvecklingen, så att fabs kan maximera beträffande-bruk av deras investering i huvudstadutrustning. Vi är säkra att tillsammans den nya kontrollen och granskar portföljen föreställer ett stort kliver framåtriktat för branschen i total- hoppa av-ledning ROI: snabbare upptäckt av utfärder, snabbare upplösning av svårt hoppar av utfärdar, och snabbare tid att marknadsföra för våra kunder' nästa generation gå i flisor.”,

De 2830 Serierna och Pumaen rånet för 9550 Serie hoppar av kontrollsystem, och eDRna-5210 e-strålar hoppar av granskar, och klassifikationssystemet dras tillbaka av KLAs-Tencors omfattande tjänste- knyter kontakt för att underhålla deras kickkapacitet och produktivitet. För mer specificerar på individprodukterna, behar ser till de fäste TeknologiÖversikterna.

Summarisk Teknologi: 2830 Serier bredbandbrightfield hoppar av kontrollsystem

På designen 3Xnm/2Xnm härska, tekniskt utfärdar i defectivitysfären är många och omväxlande, början med faktumet som avkastning-kritiskt hoppar av är allmänt mindre och svårare till tillfångatagandet än på större dimensionerar. Dessa hoppar av är också mer hård att skilja från naturliga variationer liksom fodra-kantar roughness eller färgar variation-delen av havet av `-otyg' hoppar av som hindrar rota-orsakar analys. Systematiskt hoppar av på rån-de det tryck upprepade gånger i det samma läget, eller inom samma mönstra typ på rån-växer i prevalence, som designen härskar hjärnskrynklare, med strängt får effekt på avkastning. Nya mönstra tekniker och strukturerar på knutpunkterna 3Xnm/2Xnm kräver fabs att kontrollera nya material och extra lagrar.

Den nya för brightfieldkontroll för 2830 Serie plattformen introducerar PowerBroadbandTM, unik kick-ljusstyrka hoppar av en ljus källa som planläggs för att möjliggöra mer repeatable tillfångatagande av svårt, snabbare funktion, och bättre diskriminering between hoppar av av intresserar, och otyg hoppar av. Också utrustat med ett nytt avbilda förvärvsystemet som två gånger presenterar datan, klassar av dess föregångare för 2810 Serie, erbjudandena för 2830 Serie som dess tydligt ökande kapacitet på produktionen rusar.

Summarisk Teknologi: Pumaen 9500 Serie darkfield hoppar av kontrollsystem

Även på framkanten, är inte varje apparatlagrar bäst betjänad av brightfield hoppar av kontroll. Laser-att Avbilda darkfieldkontroll kan fungera på tydligt högre genomgång, med tillräckligt hoppar av tillfångatagandet klassar för många applikationer-typisk filmar, etsar och CMP. Funktionen på högre genomgång låter mer frekventerar provtagningen av det processaa, så att hoppa av utfärder kan identifieras och botas, för extra rån är borttappada. Därför Att tid att marknadsföra och avkastning är kritiska vinst till för våra kunder', är strategiskt bruk av en blandning av alltigenom för brightfield- och darkfieldkontrollsystem det fab nödvändigt beträffande att uppnå den bäst returen på den fabs investeringen i kontrollutrustning.

Pumaen för darkfieldkontroll för 9500 Serie plattformen introducerar genombrott möjliggöra teknologi: optik för artikel med ensamrätthigh-NA*samling kombinerade med endriva laser och att möjliggöra öppningar, avbildar ett nytt förvärvsystemet och innovativa algoritmer, som låt tillsammans darkfieldkontroll ge en förhöjning i känslighet-på-genomgång av mer stor än 30% som jämförs till vår föregående-utveckling, bearbetar. Detta ha som huvudämne befordran planläggs att möjliggöra våra kunder till flyttningen till hög-känsligheten funktionen att stötta endimensionera hjärnskrynklare utan en förlust av produktivitet. Alternativt kan Puma 9500 applicera dess ökade känslighet-på-genomgång för att kontrollera nya lagrar, och det mindre tillfångatagandet hoppar av, med en rusafördel som hjälper fabs att komma med deras framkantapparater till avkastning snabbare.

Summarisk Teknologi: eDR-5210 e-strålar hoppar av granskar och klassifikationssystemet

EDRna-5210 e-strålar hoppar av granskar, och klassifikationssystemet presenterar flera teknologi, och arkitekturförbättringar, som planläggs för att gynna hjälpmedlets upplösning, beträffande-upptäckt klassar, klassifikationsexakthet och produktivitet. Extra framflyttningar i connectivityen av granska bearbetar till KLA-Tencor kontrollsystem ökar avkastning-relevansen av den hoppa avdataresultaten och förhöjningen den total- produktiviteten av dengranska lösningen.

Last Update: 25. January 2012 00:05

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit