KLA-Tencor 宣布二新的薄酥饼缺陷检验和复核投资组合 3Xnm 和 2Xnm 节点的

Published on July 13, 2009 at 8:10 PM

KLA-Tencor Corporation (那斯达克:KLAC),程序控制和产量管理解决方法的领先世界的供应商半导体和相关行业的,宣布二个新的薄酥饼检查系统和一条新的电子射线复核系统论及缺陷问题在 3Xnm/2Xnm 节点。

缺陷薄酥饼 3Xnm 和 2Xnm 节点的检验和复核系统 KLA-Tencor 的投资组合包括 2830 系列、美洲狮 9500 系列和这个 eDR-5210 (从左到右)。 (照片: 企业电汇)

2830 系列 brightfield 薄酥饼检验平台使用一个革命威力强大的等离子光源阐明范围或地点使他们不可能 repeatably 在此之前检测的缺陷类型。 美洲狮 9500 系列 darkfield 薄酥饼检验平台引入突破光学和图象两次两次产生它这个解决方法以其前辈允许新的美洲狮工具的速度监控更多层和更多缺陷类型以 darkfield 速度的购买技术。 eDR-5210 e 射线复核和分类系统以第二代电磁式域浸没技术为特色,设计实现非常图象质量和可控诉的缺陷分类结果在一个高生产率程序包。 每套新工具独自地提供在现有的技术的大量的福利。 另外,当新的检验和复核系统运作得相互依赖地时,他们可以择优地检测和报告产量相关缺陷,启用 fabs 对更加迅速地请识别并且补救复杂缺陷问题在 3Xnm 和 2Xnm 节点。

在转淡期间时, “当许多其他设备公司集中于缩小程序和延迟新的平台, KLA-Tencor 在开发的下一代产品继续大量地投资,包括二个创新薄酥饼缺陷检查系统和一个例外复核工具为 3Xnm 和 2Xnm 节点”,陈述的麦克柯克, Ph.D。,副总裁和薄酥饼检验组的总经理在 KLA-Tencor。 “我们的客户引入复杂石版印刷技术、新的材料和异乎寻常的结构。 他们应付另外的层和更小的处理视窗和敏锐地集中于值。 要论及这些问题,我们的工程小组与供应商和客户合作开发正确地 2830 的,美洲狮 9500 和 eDR-5210 创新技术系统,产生他们史无前例的功能。 其中每一个工具结合在性能和处理量的大量的预付款。 其中每一有灵活性为使用在应用在今天经济环境里添加严重的值的多个。 其中每一为 extendibility 设计到/从下设备生成,因此 fabs 可能最大化他们的在资本器材的投资重新使用。 我们确信一起新的检验和复核投资组合为在整体缺陷管理 ROI 的行业表示一个大进步: 游览的更加快速的检测,困难缺陷问题的更加快速的解决方法和更加快速的上市时间的我们的客户’下一代筹码”。

2830 头系列和美洲狮 9550 系列薄酥饼缺陷检查系统和 eDR-5210 e 射线缺陷复核和分类系统通过 KLA-Tencor 的全面业务网返回维护他们的高性能和生产率。 欲了解更详细的信息在各自的产品,请参见附加的技术汇总。

技术汇总: 2830 系列宽频 brightfield 缺陷检查系统

在 3Xnm/2Xnm 设计规律,在 defectivity 域的技术问题是许多和变化,从这个情况开始产量重要缺陷一般是更小和更难获取比在更大的维数。 这些缺陷也是更难与自然差异区分例如线路边缘坎坷或 ` 讨厌的海运的颜色差异部件妨碍根原因分析’缺陷。 在薄酥饼那些的系统的缺陷重复该打印在同一个地点或在的同一个模式类型内薄酥饼在流行增长,当设计规律收缩,与对产量的严重影响。 新的仿造的技术和结构在 3Xnm/2Xnm 节点要求 fabs 检查新的材料和另外的层。

新的 2830 系列 brightfield 检验平台介绍 PowerBroadbandTM,被设计的一个唯一高亮光光源启用困难缺陷、更加快速的运算和更好的歧视更加可重复的获取在缺陷利益和讨厌缺陷之间。 并且用两次以其 2810 系列前辈为特色的数据传输比一个新的图象收集系统装备,其在生产的明显增加的功能加速的 2830 系列聘用。

技术汇总: 美洲狮 9500 系列 darkfield 缺陷检查系统

在前沿,没有每块设备层最好由 brightfield 缺陷检验为服务。 激光想象 darkfield 检验可能运行在明显更高的处理量,与许多应用典型影片、铭刻和 CMP 的满足的缺陷获取费率。 在更高的处理量的运算允许这个进程的更加常见的抽样,因此缺陷游览可以被识别和被补救,在另外的薄酥饼丢失前。 由于上市时间和产量对我们的客户至关重要’获利能力,对 brightfield 和 darkfield 在很好中的检查系统的混合的有战略意义的使用是必要达到在很好的投资的最大的利润在检验设备。

美洲狮 9500 系列 darkfield 检验平台引入突破启用技术: 独有的 high-NA* 收集光学与更加威力强大的激光结合了,启用请一起允许 darkfield 检验提供在区分在处理量的一个增量非常地比 30% 的开口、一个新的图象收集系统和创新算法,与我们的早先生成工具比较。 此专业推进被设计使我们的客户移动向高区分运算支持重要维数收缩,不用生产率损失。 或者美洲狮 9500 能运用其被添加的区分在处理量检查新的层和获取更小的缺陷,与帮助 fabs 带来他们的前进设备更加迅速地产生的速度好处。

技术汇总: eDR-5210 e 射线缺陷复核和分类系统

eDR-5210 e 射线缺陷复核和分类系统以几被设计有益于工具的解决方法、再检测费率、分类准确性和生产率的技术和结构改善为特色。 在复核工具的连通性的另外的预付款对 KLA-Tencor 检查系统的提高缺陷数据结果的产量相关性并且增加检验复核解决方法的整体生产率。

Last Update: 13. January 2012 18:42

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