KLA - Tencor公司宣布推出兩個新的晶圓缺陷檢測 3Xnm和2Xnm節點和審查組合

Published on July 13, 2009 at 8:10 PM

的KLA - Tencor公司(納斯達克股票代碼:KLAC) ,世界領先的供應商過程控制和產量半導體及相關行業的管理解決方案,兩個新的晶圓檢查系統和一個新的電子束審查制度的3Xnm /缺陷問題的2Xnm節點。

KLA - Tencor的3Xnm和2Xnm節點的缺陷晶圓檢測和審查制度的組合,包括2830系列,Puma 9500系列的,和EDR - 5210(從左至右)。 (照片:美國商業資訊)

2830系列明場晶片檢測平台採用一個革命性的大功率等離子光源照亮其大小或位置,使他們無法前檢測到,現在可重複的缺陷類型。彪馬 9500系列暗視野晶圓檢測平台引入了突破性的光學和圖像採集技術,兩次給它兩倍的速度允許其前身彪馬的新工具,在暗場速度監控更多的層次和更多的缺陷類型的決議。 EDR - 5210電子束的審查和分類系統的功能,第二代的電磁場中浸泡技術,設計,提供一個高生產力軟件包非凡的圖像質量和可操作的缺陷分類結果。每一個新的工具提供了實實在在的好處超過其自身現有的技術。此外,當新的檢查和審查制度之間存在相互依賴關係,他們可以優先檢測和報告良率相關的缺陷,使工廠更迅速地識別和糾正 3Xnm和2Xnm節點的複雜缺陷問題。

“雖然已縮減計劃和延緩經濟衰退期間的新的平台上集中了許多其他設備公司,KLA - Tencor公司繼續投入巨資開發的新一代產品,其中包括兩個創新的晶圓缺陷檢測系統,並為特殊審查工具3Xnm和2Xnm節點,說:“邁克柯克,博士,副總裁和總經理在KLA - Tencor的晶片檢測集團。 “我們的客戶推出了複雜的光刻技術,新材料和異國情調的結構。他們應付額外的層和更小的工藝窗口,並敏銳地集中於價值。為了解決這些問題,我們的工程團隊與供應商和客戶合作開發的2830真正的創新技術,彪馬 9500 EDR - 5210系統,給他們前所未有的能力。每個工具相結合的重大進展,在性能和吞吐量。每個人都有靈活運用在多個應用程序,它增加了相當大的價值,在當今的經濟環境。每一個是或從未來設備代的可擴展性設計,使工廠可以最大限度地發揮它們在資本設備投資的再利用。我們相信,共同的新的檢查和檢討投資組合,代表前進了一大步行業整體缺陷管理的投資回報率:更快的檢測遊覽,更快地解決困難的缺陷問題,更快地為我們的客戶未來的市場一代芯片“。

2830系列和Puma 9550系列的晶圓缺陷檢測系統和EDR - 5210電子束缺陷的審查和分級制度是由KLA - Tencor的綜合服務網絡支持,以保持其高性能和生產力。對於個別產品的更多細節,請參閱所附的技術摘要。

技術摘要:2830系列寬帶明場缺陷檢測系統

在3Xnm/2Xnm設計規則的缺陷領域中的技術問題是多種多樣的,與產量的關鍵缺陷是一般更小,更難以在更大的層面來捕捉開始。這些缺陷也很難區分,如線邊緣粗糙度或顏色變化部分的“滋擾”的缺陷,妨礙根源分析海的自然變化。晶圓晶圓那些打印反复在同一位置,或在相同的模式類型的系統性缺陷,越來越普遍設計規則的收縮,對產量造成嚴重影響,。新圖案在3Xnm/2Xnm節點技術和結構要求工廠檢查新材料和額外的層。

新的2830系列明場檢測平台介紹 PowerBroadbandTM,獨特的高亮度光源,旨在使更多重複捕獲困難的缺陷,更快的操作,更好地之間的利益和滋擾缺陷缺陷的歧視。 2830系列還配備了一個新的圖像採集系統的兩倍,其2810系列前作的數據傳輸速率,提供其生產速度的能力顯著增強。

技術摘要:彪馬9500系列暗場缺陷檢測系統

即使處於領先地位,不是每個設備層是最好的明缺陷檢測。激光成像暗視野檢查可以工作在更高的吞吐量顯著,許多應用中,通常薄膜,蝕刻和CMP有足夠的缺陷捕獲率。操作允許在更高的吞吐量更頻繁的採樣過程中,使缺陷遊覽能夠被識別和糾正前丟失了額外的晶圓。由於上市時間和產量是我們的客戶的盈利能力的關鍵,對整個工廠的明場和暗場檢測系統的混合戰略使用是必要的晶圓廠的檢測設備的投資,以達到最好的回報。

的Puma 9500系列暗場檢測平台,引入了突破,使技術:獨家高NA *收集一個高功率激光與光學相結合,使孔徑,一個新的圖像採集系統和創新的算法,一起讓暗視野檢查,以提供增加靈敏度吞吐量大於 30%,比我們上一代的工具。這一重大進步的目的是使我們的客戶轉移到高靈敏度的運作,以支持一個關鍵維度收縮沒有生產力的損失。或者彪馬 9500可以申請其增加的靈敏度在檢查新的層次和捕捉小缺陷的吞吐量,速度上的優勢,幫助工廠帶來其領先的設備,產量更迅速。

技術摘要:EDR - 5210電子束缺損的審查和分級制度

EDR - 5210電子束缺陷的審查和分級制度功能的幾個技術和架構的目的是造福工具的決議,重新檢測率,分類的精度和生產力的改善。在KLA - Tencor公司的檢測系統的審查工具的連接附加進步提高產量相關性的缺陷數據結果,並增加檢查審查解決方案的整體生產力。

Last Update: 8. October 2011 07:46

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