会社は顧客の部品の制御された荒さに極度から及ぶ CVD のダイヤモンドのコーティングを滑らかになります沈殿させます

Published on July 14, 2009 at 8:43 AM

大きい表面荒さの制御された微晶質のフィルムまで極度のスムーズな nanocrystalline からの与えるために化学気相堆積の沈殿機能がより少しに (CVD)より 10 nm 及ぶ表面荒さをダイヤモンドのコーティングにより 10 um 拡大されたことを sp3 Diamond Technologies、 Inc. のダイヤモンドのフィルムの製品、装置およびサービスの一流の製造者は、今日発表しました。 さらに、 sp3 モデル 650 CVD のダイヤモンドのコーティングを加えるのに使用されている熱いフィラメントリアクターは製造業のダイヤモンドの上塗を施してある製品に社内に興味を起こさせられる会社のために使用できます。

sp3 の極度のスムーズなダイヤモンドは微晶質のフィルムは化学機械 planarization のパッドの調節のようなアプリケーションに非常に適するが、シールまたはベアリングのような摩耗の表面にとって (CMP)理想的です。 両タイプの CVD のダイヤモンドのフィルムはダイヤモンドの硬度、摩擦の極端に低い係数、摩耗抵抗および優秀な熱特性が他の代わりをすべて越える粗くかデマンドが高い環境に優秀なコーティングを提供します。

「私達がこれらのアプリケーションに必要な CVD のダイヤモンドの沈殿リアクターを製造するので sp3 この市場で一義的な提供が」に言いました Dwain Aidala、大統領そして sp3 ダイヤモンドの技術の COO をあります。 「これは顧客が私達のコーティングサービスを利用しか、またはリアクターシステムを購入し、自身の機能内のプロセスステップとして極度のスムーズなか制御された荒さのダイヤモンドのコーティングを追加することを可能にします。 私達がリアクターによって提供する専門知識は顧客が普通それらが」。ターゲットアプリケーションに必要な CVD のダイヤモンドのフィルムの特性を達成することを可能にする既存のプロセス調理法を受け取ることを意味します

sp3 CVD のダイヤモンドリアクターで製造されるように極度のスムーズなダイヤモンドは、連絡し、非連絡の上塗を施してあるシールおよび給水系統のようなデマンドが高い材料条件のいろいろ摩耗の表面のための理想的な材料、です。

制御された荒さのダイヤモンドはシリコンの薄片工業が非常に腐食性の銅およびタングステン (w) のスラリーの環境の 22 nm およびより低い幾何学に移動するので CMP のパッドのコンディショナー (Cu)のための出現材料です。

ダイヤモンド上塗を施してある表面は給油が粗末である、または Cu または W CMP の腐食性のスラリーの環境でところでそれがポンプでくむ研摩剤または熱湯であるかどうか両タイプのアプリケーションのために典型的な粗い化学環境に抗よりよくできます。 これらの環境では、ダイヤモンドの硬度およびかなり有用な部分の生命を拡張する化学抵抗のコンバイン。

従って正確に sp3 CVD のダイヤモンドの沈殿プロセスのダイヤモンドの成長およびフィルムの特性を制御する機能は障害を減らしている間炭化ケイ素 (SiC) のような基板の非常に制御された結晶粒度そしてオリエンテーションを促進します、滑走表面の間で生成される熱の量を可能にし延長部分の生命を下げます。 そのようなフィルムはまた超硬合金、ケイ素、炭化タングステンおよびグラファイトを含む他のいろいろ基板で、沈殿させることができます。

Last Update: 13. January 2012 20:59

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