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Arradiance Stellt AtomAbsetzungs-Anlage der schicht-GEM-D2 vor

Published on July 17, 2009 at 1:21 AM

Arradiance stellte heute die AtomAbsetzungsanlage der schicht- (ALD)GEM-D2 im Vorsprung vor der Amerikanischen der Vakuumdie Schicht-Absetzungs-Sitzung gesellschaft jährlichen Atomin Monterey, CA vor. Das GEM-D2 kann verwendet werden, um Dünnschichten des Materials auf praktisch jeder möglicher Substratfläche atomar abzugeben und wurde mit den schwierigsten hohen Längenverhältnis- und Durchporenabsetzungsanwendungen im Verstand konstruiert.

„Von unserer Arbeit mit den empfindlichen, hohen Längenverhältnis Microchannelzellen, wurden uns wir dem Bedarf an einer Anlage, in der wir repeatably könnten und komplexes nanolaminate gleichmäßig abzugeben effizient“ filmt, erklären Neal Sullivan, CTO von Arradiance akut bewusst. „, ein MCP functionalize, müssen die Filme nicht nur von Bodenlauf zu Bodenlauf physikalisch identisch sein, aber auch elektrisch identisch. Es ist unmöglich, ein Experiment zu konstruieren, um subtile parametrische Änderungen vorzunehmen, wenn das Hilfsmittel ändert nach dem Zufall auch.“

Allgemeiner Materieller Wissenschaftler Arradiance, Philippe de Rouffignac fügt hinzu, „Wir lernten von unseren eigenen Anwendungen, die für Einheitlichkeit konstruieren und parametrische Regelung die Tasten zum Entwicklungserfolg sind. Unser eindeutiger Reaktor und Showerhead gasen Liefersystem und einzelne Stufen-Heizungsbediengeräte des Vorläufers 3 geben uns die Leistung und die Flexibilität, jeden komplexen Film zu handhaben. Wir erklären diese Vorteile ausführlicher in unserer ALD-Poster-Session 2009, geschrieben gemeinsam mit Dr. Roy Gordon von Universität Harvard.“

„Unsere große Erfahrung in der Materialwissenschaft, Physik des geladenen Teilchens und Systementwurf sind kombiniert worden, um eine wirklich robuste Forschungsanlage für Ingenieure zu machen, die über ihre Arbeit“ ernst sind, sagt Ken Stenton, Arradiance CEO. „Wegen der Bedeutung der Materialforschung in auftauchenden Wachstumsbranchen wie biomedizinisches, Solar, Weltraumforschung, Umwelt und Halbleiter, sahen wir den Bedarf an einem Forschungshilfsmittel mit Produktionsleistung und -zuverlässigkeit. Wir sind überzeugt das GEM-D2 erfüllen und überschreiten diesen Bedarf.“

Last Update: 14. January 2012 00:20

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