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Arradiance presenta GEM-D2 de capas atómicas sistema de deposición de

Published on July 17, 2009 at 1:21 AM

Arradiance ha presentado hoy el GEM-D2 deposición de capa atómica (ALD) del sistema antes de anual de la Sociedad Americana del Vacío Reunión Atómica de deposición de capas en Monterey, CA. El GEM-D2 puede ser utilizada para depositar capas finas de material atómico en prácticamente cualquier sustrato y fue diseñado con la relación de aspecto más desafiante de alta a través de los poros y las aplicaciones de depósito en cuenta.

"A partir de nuestro trabajo con las estructuras sensibles y de alta relación de aspecto de microcanales, nos convertimos en muy conscientes de la necesidad de un sistema en el que podamos repetible y uniforme depositar películas complejas nanolaminate eficiente", explica Neal Sullivan, director de tecnología de Arradiance. "Para funcionalización en un MCP, las películas deben ser no sólo físicamente idénticos de correr a correr, pero también es idéntico eléctricamente. Es imposible diseñar un experimento para hacer sutiles cambios paramétricos si la herramienta es al azar cambiando."

Científico Arradiance material principal, Philippe de Rouffignac, añade, "Hemos aprendido de nuestras propias aplicaciones de diseño para la uniformidad y el control paramétricas son las claves del éxito del desarrollo. Nuestro único reactor de gas y sistema de entrega de ducha y precursor individuales de 3 etapas controles de calefacción nos dan la potencia y flexibilidad para manejar cualquier película compleja. Explicamos estas ventajas con mayor detalle en la presentación del cartel ALD de 2009, escrito en colaboración con el Dr. Roy Gordon de la Universidad de Harvard. "

"Nuestra amplia experiencia en ciencia de materiales, física de partículas cargadas y diseño de sistemas se han combinado para crear un sistema de investigación verdaderamente robusta para los ingenieros que se toman en serio su trabajo", dice Ken Stenton, CEO Arradiance. "Debido a la importancia de la investigación de materiales en las industrias de crecimiento emergentes como biomédica, energía solar, la ciencia espacial, ambiental y de semiconductores, hemos visto la necesidad de una herramienta de investigación con el rendimiento de la producción y la fiabilidad. Estamos seguros de que el GEM-D2 se reunirá y superar esa necesidad. "

Last Update: 5. October 2011 00:08

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