Arradiance dévoile GEM-D2 système atomique Layer Deposition

Published on July 17, 2009 at 1:21 AM

Arradiance a dévoilé aujourd'hui le GEM-D2 Déposition atomique Layer (ALD) système à l'avance des comptes annuels de l'American Vacuum Society de dépôt de couche atomique Réunion à Monterey, en Californie. Le GEM-D2 peut être utilisé pour déposer des couches minces de matériaux atomiquement sur pratiquement n'importe quel substrat et a été conçu avec le ratio d'aspect élevé le plus difficile et les applications dépôt à travers des pores à l'esprit.

"De notre travail avec les sensibles, haute structures ratio d'aspect de microcanaux, nous sommes devenus très conscients de la nécessité d'un système dans lequel nous pourrions déposer uniformément répétée et films nanolaminate complexes de manière efficace", explique Neal Sullivan, CTO de Arradiance. "Pour fonctionnaliser une MCP, les films doivent être non seulement physiquement identiques d'une série à courir, mais aussi électriquement identiques. Il est impossible de concevoir une expérience pour faire des changements subtils paramétrique si l'outil est aléatoire change aussi."

Arradiance scientifique principal matériau, Philippe de Rouffignac ajoute: «Nous avons appris de nos propres applications que la conception de l'uniformité et le contrôle paramétrique sont les clés du succès du développement. Notre réacteur unique et système de distribution de gaz et de douche individuelles précurseur de commandes de chauffage en 3 étapes nous donnent la puissance et la flexibilité pour gérer tout film complexe. Nous expliquons ces avantages de manière plus détaillée dans notre ALD 2009 présentation par affiches, écrit en collaboration avec le Dr Roy Gordon de l'Université Harvard. "

«Notre vaste expérience en science des matériaux, physique des particules chargées et la conception de systèmes ont été combinés pour créer un système de recherche véritablement robuste pour les ingénieurs qui sont sérieux au sujet de leur travail», affirme Ken Stenton, PDG Arradiance. «En raison de l'importance de la recherche sur les matériaux dans les industries émergentes en pleine croissance tels que le biomédical, l'énergie solaire, les sciences spatiales, l'environnement et des semi-conducteurs, nous avons vu la nécessité d'un outil de recherche avec des performances de production et de fiabilité. Nous sommes convaincus que le GEM-D2 se réunira et dépasser ce besoin. "

Last Update: 26. October 2011 22:03

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