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Arradiance発表GEM - D2原子層堆積システム

Published on July 17, 2009 at 1:21 AM

Arradianceは本日、モントレー、カリフォルニア州のアメリカの真空協会の年次原子層堆積会議の事前にGEM - D2原子層堆積(ALD)システムを発表した。 GEM - D2は、ほぼすべての基板上に材料の原子レベルの薄い層を堆積するために使用することができますし、最も困難な高アスペクト比なので、この点に留意を通じて孔膜のアプリケーションで設計されました。

"敏感な、高アスペクト比マイクロ構造を持つ我々の仕事から、我々はに対して繰り返し、均一に効率的に複雑なnanolaminate膜を堆積する可能性があったシステムの必要性を痛感なった"、ニールサリバン、ArradianceのCTOは説明する。 "MCPを官能化するために、映画だけでなく、実行するたびに物理的に同一ではなく、電気的に同一である必要があります。これは、ツールがランダムに同様に変化しているか微妙なパラメトリック変更を加えるために実験を設計することは不可能です。"

Arradiance主材料科学者は、フィリップドRouffignacは、我々は、均一性とパラメトリックコントロールのデザインが発達成功の鍵であることを私たち自身のアプリケーションから学んだ"、追加されます。当社独自の原子炉とシャワーヘッドのガス供給システムと個々の前駆体3段加熱のコントロールは、私たちに与えるどんな複雑なフィルムを処理するパワーと柔軟性は我々は、ハーバード大学のDr。ロイゴードンと共同で書かれた私たちのALD 2009ポスター発表で詳細にこれらの利点を説明する。"

"材料科学、荷電粒子の物理学とシステム設計における当社の広範な経験が自分の仕事を真剣に考えているエンジニアのために真に強固な研究システムを作るために結合されている"、ケンステントン、Arradiance最高経営責任者(CEO)は述べています。 "ので、そのような生物医学、太陽、宇宙科学、環境、半導体などの新興成長産業における材料研究の重要性を、我々は、生産のパフォーマンスと信頼性を持つ研究ツールの必要性を感じました。私たちは、GEM - D2が満たす確信し、その必要性を超えて。"

Last Update: 3. October 2011 03:11

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