Arradiance Revela o Sistema Atômico do Depósito da Camada GEM-D2

Published on July 17, 2009 at 1:21 AM

Arradiance revelou hoje o sistema Atômico do Depósito da Camada (ALD) GEM-D2 antes da Reunião Atômica anual do Depósito da Camada da Sociedade Americana do Vácuo em Monterey, CA. O GEM-D2 pode ser usado para depositar mergulha atômica finamente do material em virtualmente toda a carcaça e foi projectado com as aplicações altas as mais desafiantes do depósito do prolongamento e do através-poro na mente.

“De nosso trabalho com estruturas sensíveis, altas do microcanal do prolongamento, nós tornamo-nos aguda cientes da necessidade para um sistema em que nós poderíamos repeatably e para depositar uniformemente o nanolaminate complexo filma eficientemente”, explicamos Neal Sullivan, CTO de Arradiance. “Para functionalize um MCP, os filmes precisam de ser não somente fisicamente idênticos da corrida à corrida, mas também electricamente idêntico. É impossível projectar uma experiência fazer mudanças paramétricas subtis se a ferramenta está mudando aleatòria também.”

O Cientista Material Principal de Arradiance, Philippe de Rouffignac adiciona, “Nós aprendemos de nossas próprias aplicações que projectam para a uniformidade e o controle paramétrico é as chaves ao sucesso desenvolvente. Nossos reactor e showerhead originais intoxicam o sistema de entrega e os controles de aquecimento individuais da fase do precursor 3 dão-nos a potência e a flexibilidade segurar todo o filme complexo. Nós explicamos estas vantagens com maiores detalhes em nossa apresentação 2009 do cartaz de ALD, escrita em colaboração com o Dr. Roy Gordon da Universidade de Harvard.”

“Nossa experiência larga na ciência de materiais, a física de partículas cobrada e o projecto de sistemas foram combinados para fazer um sistema verdadeiramente robusto da Pesquisa para os coordenadores que são sérios sobre seu trabalho”, dizem Ken Stenton, CEO de Arradiance. “Devido à importância da pesquisa dos materiais em indústrias de crescimento emergente tais como biomedicável, solar, a ciência espacial, o ambiental e semicondutor, nós vimos a necessidade para uma ferramenta da pesquisa com desempenho e confiança da produção. Nós estamos seguros o GEM-D2 encontraremos e excederemos essa necessidade.”

Last Update: 13. January 2012 21:49

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