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Arradiance 揭幕 GEM-D2 基本层证言系统

Published on July 17, 2009 at 1:21 AM

Arradiance 在美国真空社团的每年基本 (ALD)层证言会议前今天揭幕 GEM-D2 基本层证言系统在蒙特里, CA。 GEM-D2 可以用于存款基本材料薄层在实际上所有基体的和设计了想着最富挑战性的高长宽比和通过毛孔证言应用。

“从我们的与敏感,高长宽比微通道结构一起使用,我们发觉了深刻地需要对于我们可能 repeatably,并且统一存款复杂 nanolaminate 高效地摄制”的系统,解释尼耳莎莉文, Arradiance CTO。 “Functionalize MCP,影片需要是不仅实际上相同的从运行到运行,而且电子相同。 设计实验做细微的参数变动是不可能的,如果工具任意地更改”。

Arradiance 首席物质科学家,菲利普角 de Rouffignac 补充说, “我们从为均一设计,并且参数控制是关键字对发展成功的我们自己的应用了解。 我们的唯一反应器和淋浴喷头供气送货系统,并且各自的前体 3 阶段热度控制产生我们这种功率和灵活性处理所有复杂影片。 我们在我们的 ALD 2009年海报介绍较详细地解释这些好处,被写与哈佛大学的罗伊哥顿博士合作”。

“我们清楚的经验在材料学,荷电粒子物理和系统设计被结合做对他们的工作是严重”的工程师的一个正确地稳健研究系统,说肯 Stenton, Arradiance CEO。 “由于材料研究的重要性对涌现的发展中的产业的例如生物医学,太阳,空间学,环境和半导体,我们看到了需要对于有生产性能和可靠性的研究工具。 我们确信 GEM-D2 将适应并且超出该需要”。

Last Update: 13. January 2012 18:02

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