Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Firma Anerkendt for enestående bidrag til Advancement of EUV Litografi Infrastruktur

Published on July 20, 2009 at 6:15 AM

Energetiq Technology, Inc., en udvikler og producent af specialiserede korte bølgelængde lys produkter til avancerede applikationer, har fået en Outstanding Contribution Award på 2009 International Workshop for EUV litografi, for fremragende præstation af den Energetiq EUV lyskilde og selskabets bidrag til EUVL udvikling. Kun to Priserne blev uddelt ved workshoppen afholdt i sidste uge i Honolulu, Hawaii - den ene til Energetiq og den anden til en berømt professor i EUV udvikling for hans levetid karriere præstation.

Professor Gregory Denbeaux af universitetet i Albany overrakte prisen til Deborah Gustafson, VP for marketing og salg på Energetiq. Prof. Denbeaux udtalte: "Energetiq har gjort det muligt for forskere at have pålidelige EUV fotoner til at gøre EUV litografi blive en realitet. Meget af nutidens forskning er udført med Energetiq EUV lyskilde."

Gustafson tilføjede: "Energetiq er glad for at modtage denne pris, og vi er glade for, at vi kan bidrage til udvikling af infrastrukturen, der gøres i dag. Desuden vil vi gerne takke alle vores kunder for deres vellykkede arbejde på dette område. Energetiq planer om at fortsætte sit bidrag til en vellykket gennemførelse af EUV Litografi ved at arbejde med masken metrologi leverandører for at sikre, at der er en pålidelig EUV kilde for metrologi værktøjer. "

Energetiq er EQ-10 serien EUV lysgeneratoren er udstyret med virksomhedens proprietære Elektrodeløst Z-Pinch (TM) teknologi og producerer stabilt EUV lys, med lave omkostninger ved ejerskab. Den Elektrodeløst kilde design er bevist til at køre kontinuerligt og har meget repeterbare resultater. EQ-10 serien er installeret ved større EUV teknologi-centre i USA, Europa og Asien, og bruges i avancerede fotoresistbelagte test og kvalificering, EUV optik test, EUV mikroskopi, og senest med indførelsen af ​​en højfrekvent (10 kHz) version, inden for metrologi og forskning applikationer, hvor simulering af HVM (High Volume Manufacturing) er påkrævet.

Energetiq Technology, Inc. er en udvikler og producent af avancerede kort bølgelængde lys produkter, der muliggør nano-skala strukturer og produkter. Den Energetiq Holdet kombinerer sin dybe forståelse af de høje effekt plasmafysik behov for korte bølgelængde lys generation med sin lange erfaring med at bygge robuste, industrielle og videnskabelige produkter. Resultatet er, at brugerne kan forvente de højeste niveauer af ydeevne kombineret med den højeste pålidelighed.

Last Update: 25. October 2011 15:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit