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Compañía reconocida por su destacada contribución al adelanto de la infraestructura de la litografía EUV

Published on July 20, 2009 at 6:15 AM

Energetiq Technology, Inc., un desarrollador y fabricante de productos especializados de luz de onda corta para las aplicaciones de la tecnología avanzada, ha recibido un Premio a la Contribución Sobresaliente en el Taller Internacional de 2009 para la litografía EUV, para un excelente rendimiento de la fuente de luz EUV Energetiq y la compañía contribución al desarrollo EUVL. Sólo dos premios fueron entregados en el taller celebrado la semana pasada en Honolulu, Hawaii - el que Energetiq y el otro a un profesor de renombre en el desarrollo de EUV por su trayectoria artística de por vida.

Profesor Gregory Denbeaux de la Universidad de Albany entregó el premio a Deborah Gustafson, vicepresidente de Marketing y Ventas de Energetiq. Prof. Denbeaux declaró: "Energetiq ha hecho posible que los investigadores tengan confianza fotones UVE para hacer la litografía EUV convertirse en una realidad. Muchas de las investigaciones de hoy en día se lleva a cabo con la fuente de luz EUV Energetiq".

Gustafson añadió, "Energetiq se complace en recibir este premio y estamos felices de que podemos contribuir al desarrollo de la infraestructura se está haciendo hoy en día. Por otra parte, nos gustaría agradecer a todos nuestros clientes por su exitoso trabajo en este campo. Energetiq planea continuar su contribución a la implementación exitosa de la litografía EUV, trabajando con los proveedores de la máscara de metrología para asegurar que no es una fuente fiable de UVE para instrumentos de metrología. "

EQ-10 Energetiq la Fuente de la Serie de luz EUV características de la empresa propietaria electrodos Z-Pinch (TM) y produce luz EUV estable, con bajo coste de propiedad. El diseño de la fuente electrodos se ha demostrado que funciona continuamente y tienen un rendimiento altamente repetible. La serie EQ-10 se instala en los principales centros de tecnología EUV en los EE.UU., Europa y Asia, y se utiliza en las pruebas fotosensible avanzadas y la cualificación, EUV prueba óptica, microscopía EUV, y más recientemente con la introducción de una alta tasa de repetición (10 kHz) versión, en aplicaciones de metrología y de investigación en simulación de HVM (alto volumen de fabricación) se requiere.

Energetiq Technology, Inc. es un desarrollador y fabricante de productos avanzados de corta longitud de onda de luz que permiten a nano-escala de las estructuras y productos. El equipo Energetiq combina su profundo conocimiento de la física de plasma de alta energía necesaria para la generación de luz de onda corta con su larga experiencia en productos de construcción robusta, industrial y científico. El resultado es que los usuarios pueden esperar los más altos niveles de rendimiento combinado con la máxima fiabilidad.

Last Update: 22. October 2011 08:08

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