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회사는 EUV 리소그래피 인프라의 발전에 탁월한 공헌 인정

Published on July 20, 2009 at 6:15 AM

Energetiq 기술 주식 회사, 첨단 기술 응용 프로그램에 대한 전문 짧은 파장 조명 제품의 개발 및 제조 업체는 Energetiq EUV 광원의 뛰어난 성능에 대한 EUV 리소그래피를위한 2009 국제 워크샵에서 우수 공헌 상을, 그리고 회사의 부여되었습니다 EUVL 발전에 기여. 겨우 두 보너스 호놀룰루, 하와이에서 지난 주 개최된 워크숍에서 주어진 했어요 - Energetiq로 한 그의 평생 직업 성취에 대한 EUV 개발에 유명한 교수로 다른.

알바니에서 대학의 교수 그레고리 Denbeaux은 데보라 Gustafson, 마케팅 부사장과 Energetiq에서 판매 상을 제시했습니다. 교수 Denbeaux는 "Energetiq가 가능 연구자 리소그래피가 현실이 될 수 있도록 EUV reliable EUV 광자를 위해 만들었습니다. 대부분 오늘날의 연구는 Energetiq EUV 광원과 함께 실시합니다."언급

Gustafson은 Energetiq이 상을 받게 된 것을 기쁘게 생각하고 우리가 오늘 한되는 인프라 발전에 기여할 수있는 행복이다 "고 말했다. 또한, 우리가이 분야에서 성공적인 작업에 대한 고객 모두에게 감사하고 싶습니다. Energetiq 계속 계획 계측 도구에 대한 신뢰할 수있는 EUV 원본이있다는 것을 보장하기 위해 마스크 계측 공급 업체와 협력하여 EUV 리소그래피의 성공적인 구현하기 위해 공헌. "

Energetiq의 EQ - 10 시리즈 EUV 광원이 회사의 독점 Electrodeless Z - 핀치 (TM) 기술을 기능과 낮은 소유 비용, 안정적인 EUV 조명을 생산하고 있습니다. electrodeless 소스 디자인은 지속적으로 실행하는 입증된 고도 반복 성능을 가지고 있습니다. EQ - 10 시리즈는 미국, 유럽 및 아시아의 주요 EUV 기술 센터에 설치하고, 고급 포토 레지스트 테스트 및 높은 반복 속도 (의 도입과 함께 최근 자격, EUV 광학 테스트, EUV 현미경, 및 사용 10 kHz에서) 버전은 계측 및 연구 애플 리케이션에서 HVM (대량 생산)의 시뮬레이션이 필요입니다.

Energetiq 기술 주식 회사 나노 스케일 구조와 제품을 사용 고급 짧은 파장 조명 제품의 개발 및 제조 업체입니다. Energetiq 팀은 거친, 산업 및 과학 제품을 건물에 오랜 경험과 짧은 파장의 빛이 생성에 필요한 높은 전력 플라즈마 물리의 깊은 이해를 결합합니다. 그 결과 사용자가 최고의 신뢰성과 함께 성능을 최고 수준을 기대할 수있다는 것입니다.

Last Update: 10. October 2011 17:31

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