Bedrijf bekend vanwege de uitmuntende bijdrage aan Bevordering van de EUV-lithografie Infrastructuur

Published on July 20, 2009 at 6:15 AM

Energetiq Technology, Inc, een ontwikkelaar en producent van gespecialiseerde korte golflengte light producten voor geavanceerde technologische toepassingen, is gegeven een Outstanding Contribution Award op de 2009 International Workshop voor EUV-lithografie, voor de uitstekende prestaties van de Energetiq EUV lichtbron en het bedrijf bijdrage aan de EUVL ontwikkeling. Slechts twee awards werden gegeven op de workshop van vorige week in Honolulu, Hawaii - degene die Energetiq en de andere naar een gerenommeerde professor in EUV ontwikkeling voor zijn levenslange carrière prestatie.

Professor Gregory Denbeaux van de Universiteit van Albany overhandigde de prijs aan Deborah Gustafson, Vice President Marketing en Sales bij Energetiq. Prof. Denbeaux verklaarde: "Energetiq heeft het mogelijk gemaakt voor onderzoekers om een ​​betrouwbare EUV fotonen moeten maken lithografie een realiteit EUV. Een groot deel van het onderzoek van vandaag is uitgevoerd met het Energetiq EUV lichtbron."

Gustafson toegevoegd, "Energetiq is blij met deze award en we zijn blij dat we kunnen bijdragen aan de ontwikkeling van infrastructuur wordt gedaan vandaag. Bovendien willen we al onze klanten bedanken voor hun succesvolle werkzaamheden op dit gebied. Energetiq plannen blijven haar bijdrage aan de succesvolle implementatie van EUV-lithografie door te werken met het masker metrologie leveranciers om ervoor te zorgen dat er een betrouwbare bron voor EUV metrologie tools. "

Energetiq De EQ-10 serie EUV Lichtbron kenmerken van het bedrijf eigen Elektrodeloze Z-Pinch (TM) technologie en produceert een stabiele EUV-licht, met een lage cost of ownership. De elektrodeloze bron ontwerp is bewezen continu draaien en hebben een zeer herhaalbare prestaties. De EQ-10 serie is geïnstalleerd op de grote EUV-technologie centra in de Verenigde Staten, Europa en Azië, en wordt gebruikt in geavanceerde fotolak testen en kwalificatie, EUV optiek testen, EUV microscopie, en meest recentelijk met de introductie van een hoge herhalingsfrequentie (10 kHz) versie, in metrologie en research toepassingen waar simulatie van HVM (High Volume Manufacturing) is vereist.

Energetiq Technology, Inc is een ontwikkelaar en fabrikant van geavanceerde korte golflengte licht producten die nano-schaal structuren en producten mogelijk te maken. De Energetiq team combineert zijn diepe kennis van de high power plasmafysica die nodig is voor korte golflengte licht generatie met haar jarenlange ervaring in het bouwen van robuuste, industriële en wetenschappelijke producten. Het resultaat is dat gebruikers kunnen verwachten dat het hoogste niveau van de prestaties in combinatie met de hoogste betrouwbaarheid.

Last Update: 4. October 2011 13:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit